DE4401363A1 - Formteile aus fluorhaltigem Polymer mit erhöhter Wasserabstoßung und daraus hergestellte Einspannvorrichtungen zum Waschen - Google Patents

Formteile aus fluorhaltigem Polymer mit erhöhter Wasserabstoßung und daraus hergestellte Einspannvorrichtungen zum Waschen

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DE4401363A1
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Yukinori Saiki
Mina Ichikawa
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Masahiro Ono
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Description

Hintergrund der Erfindung Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Formteil aus fluorhaltigem Polymer, insbesondere Polyte­ trafluorethylen, mit erhöhter Wasserabstoßung sowie auf eine Einspannvorrichtung zum Halten zu waschender Gegen­ stände während der Waschverfahren unter Verwendung eines wässerigen Waschmediums.
Beschreibung des Standes der Technik
Fluorhaltige Polymere werden wegen ihrer ausge­ zeichneten chemischen Beständigkeit, geringen Oberflä­ chenreibung, Flammhemmung und Wärmebeständigkeit in wei­ tem Rahmen auf vielen Gebieten der Industrie benutzt.
Freon (Warenzeichen) wurde üblicherweise als ein Hauptmedium zum Waschen verschiedener Halbleiterpro­ dukte eingesetzt. Wegen der Umweltprobleme wurde der Ein­ satz von Freon auf diesen Gebieten jedoch in den letzten Jahren durch sehr stark gereinigtes Wasser ersetzt. Aus diesem Grunde werden fluorhaltige Polymermaterialien mit hervorragender Wasserabstoßung, wie Polytetrafluorethy­ len, Tetrafluorethylen-Perfluoralkyl-Vinylether-Copolymer und Tetrafluorethylen-Hexafluorpropylen-Copolymer für verschiedene Werkzeuge, Einspannvorrichtungen, Teile und Ausrüstung bei Verfahren zur Herstellung von Halbleitern benutzt. Der Kontakt- bzw. Netzwinkel mit Wasser für die­ se fluorhaltigen Polymere, der ein Anzeichen für die Was­ serabstoßung dieser Materialien ist, ist so klein wie etwa 110°, was für einen leichten Abfluß von Wasser unge­ nügend ist. Zur Wasserentfernung ist daher eine Trocken­ stufe erforderlich.
Die Wasserabstoßung fester Oberflächen von Polymermaterialien wird bekanntermaßen stark durch die Oberflächenrauheit beeinflußt, vorausgesetzt, daß die chemische Zusammensetzung und kristalline Struktur die gleichen sind [R. N. Wenzel, "Ind. Eng. Chem.", 28, 988 (1936)]. Als Verfahren zum Erhöhen der Wasserabstoßung von Polymeroberflächen sind zum Beispiel ein Verfahren zum Dispergieren eines wasserabstoßenden Füllstoffes in einem Polymer mit Perfluoralkylgruppe, als einer Matrix, [F. Oishi et al., "Hyoumen (Oberfläche)", 28, 988 (1990)] sowie ein Verfahren zum Ausführen einer eutektoiden Galva­ nisierung einer Galvanisierungslösung, in der Teilchen aus Polytetrafluorethylen-Oligomer dispergiert sind (JP- OS (kokai) 285 199/1992) bekannt.
Bei diesen Verfahren können der wasserabstoßen­ de Füllstoff oder Teilchen von Polytetrafluorethylen-Oli­ gomer jedoch von der Matrix abgegeben werden und zu einer verminderten Wasserabstoßung führen.
Eine der Aufgaben der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen aus fluorhaltigem Polymer, insbeson­ dere aus Polytetrafluorethylen, geformten Gegenstand mit erhöhter Wasserabstoßung zu schaffen.
Wie oben erwähnt, sind Waschverfahren unter Verwendung eines wässerigen Mediums in der Halbleiterin­ dustrie und der mechanischen Präzisionsteile-Industrie als Folge der Ausbreitung des beschränkten Einsatzes von Freon populärer. Bei diesen Waschverfahren wird eine An­ zahl von Systemen zum aufeinanderfolgenden Eintauchen zu waschender Teile, die durch eine Einspanneinrichtung ge­ halten sind, wie einen Träger zum Waschen einer Halblei­ terscheibe bzw. -wafer, in verschiedene Behälter, die unterschiedliche Arten wässeriger Waschmedien oder von Wasser enthalten, benutzt.
Polytetrafluorethylen ist als ein typisches Ma­ terial zum Formen von Einspannvorrichtungen, wie Träger, die bei solchen Verfahren benutzt werden, bekannt. Da Wasser sehr viel weniger flüchtig ist als Freon, ist die Entfernung des Wassers von diesen Geräten bzw. Werkzeugen oder Einspannvorrichtungen, die aus Polytetrafluorethylen hergestellt sind, ungenügend. Dies verursacht Probleme, wie die Notwendigkeit zeitaufwendiger und komplexer Pro­ zeduren zum Entfernen von Wasser, das nach dem Heraus­ nehmen dieser Teile aus den Waschgefäßen an den gewasche­ nen Teilen haftet, was zu einer verringerten Produktivi­ tät und zur Verunreinigung des Waschmediums durch anhaf­ tendes Wasser in den folgenden Gefäßen führt, was erfor­ dert, daß das Waschmedium in diesen Gefäßen häufig er­ setzt wird. Wasser verbleibt besonders in Bereichen, wo die gewaschenen Teile und die Einspannvorrichtung, wie ein Träger, in Berührung kommen. Die verzögerte Entfer­ nung solchen Restwassers wird als die Produktqualität, abhängend von den Anwendungen des Produktes, beeinträch­ tigend angesehen.
Verfahren, die konventionellerweise dazu be­ nutzt werden, diese Probleme zu vermeiden, waren ein Ver­ fahren zum sehr langsamen Herausnehmen der gewaschenen Produkte aus dem Gefäß, während die Waschflüssigkeit er­ hitzt wurde, um das anhaftende Wasser über der flüssigen Oberfläche zu verdampfen oder ein Verfahren zum Entfernen von Wasser mittels einer Zentrifuge. Diese Verfahren sind auch zeitaufwendig und erfordern komplizierte Prozeduren und hohe Kosten.
Es ist daher eine andere Aufgabe der vorliegen­ den Erfindung, eine aus Polytetrafluorethylen hergestell­ te Einspannvorrichtung zu schaffen, die stark verbesserte Eigenschaften hinsichtlich der Wasserentfernung aufweist, an der eine minimale Wassermenge haftet, und die die Pro­ duktivität beim Einsatz zum Halten von zu waschenden Tei­ len in Waschverfahren unter Anwendung eines wässerigen Waschmediums merklich verbessert.
Als ein Ergebnis ausgedehnter Untersuchungen zur Verbesserung der Wasserabstoßung von Formteilen aus fluorhaltigem Polymer haben die vorliegenden Erfinder festgestellt, daß ein Formteil aus fluorhaltigem Polymer mit ausgezeichneter Wasserabstoßung und hervorragender Haltbarkeit erhalten werden kann durch Behandeln der Oberfläche eines solchen Formteiles mit Fluorgas nach dem Aufrauhen der Oberfläche. Die vorliegenden Erfinder haben weiter festgestellt, daß die Wasserabstoßung von Formtei­ len aus fluorhaltigem Polymer, insbesondere Polytetra­ fluorethylen, auch dadurch erhöht werden kann, daß die Gegenstände bei einer Temperatur zwischen dem Schmelz­ punkt und der Zersetzungstemperatur wärmebehandelt wer­ den. Weiter haben die vorliegenden Erfinder festgestellt, daß diese Formteile aus fluorhaltigem Polymer, insbeson­ dere Polytetrafluorethylen, auf vielen verschiedenen Ge­ bieten außerordentlich brauchbar als Einspannvorrichtung zum Halten von in Waschverfahren zu waschenden Gegenstän­ den sind, bei denen ein wässeriges Waschmedium benutzt wird. Diese Feststellungen haben zur Fertigstellung der vorliegenden Erfindung geführt.
Zusammenfassung der Erfindung
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Er­ findung, ein Formteil aus fluorhaltigem Polymer mit er­ höhter Wasserabstoßung zu schaffen, die erhalten ist durch eine Behandlung der Oberfläche mit einem fluorhal­ tigen Gas nach dem Aufrauhen der Oberfläche.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird das Aufrauhen der Oberfläche des Formteiles aus fluorhaltigem Polymer durch eine mechanische Behandlung oder eine elek­ trische Behandlung ausgeführt.
In einer anderen bevorzugten Ausführungsform wird die Behandlung mit einem fluorhaltigen Gas unter Er­ hitzen ausgeführt.
Von den fluorhaltigen Polymeren ist Polytetra­ fluorethylen besonders geeignet zum Erhöhen der Wasserab­ stoßung durch eine Wärmebehandlung. Es ist daher eine an­ dere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Formteil aus Polytetrafluorethylen mit einer erhöhten Wasserabstoßung zu schaffen, die erhalten ist durch eine Wärmebehandlung bei einer Temperatur zwischen dem Schmelzpunkt und der Zersetzungstemperatur.
Diese Aufgabe des Erhöhens der Wasserabstoßung eines Formteiles aus Polytetrafluorethylen wird wirksamer gelöst, wenn die Wärmebehandlung in Kombination mit dem Oberflächenaufrauhen und-/oder der Behandlung mit dem fluorhaltigen Gas ausgeführt wird.
Noch eine andere Aufgabe der vorliegenden Er­ findung ist es, eine Einspannvorrichtung, die aus Polyte­ trafluorethylen hergestellt ist und in Waschverfahren un­ ter Verwendung eines wässerigen Waschmediums brauchbar ist, zu schaffen.
Andere und weitere Aufgaben, Merkmale und Vor­ teile der vorliegenden Erfindung ergeben sich deutlicher aus der folgenden Beschreibung.
Kurze Beschreibung der Zeichnung
Fig. 1 zeigt C1S-Spektren, gemessen durch Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (ESCA), einer Poly­ tetrafluorethylen-Folie, deren Oberfläche mit einer Drahtradbürste aufgerauht worden ist, (a) vor der Behand­ lung mit Fluorgas und (b) nach der Behandlung mit Fluor­ gas.
Fig. 2 zeigt O1S-Spektren einer Polytetra­ fluorethylen-Folie, deren Oberfläche mit einer Drahtrad­ bürste aufgerauht worden ist, (a) vor der Behandlung mit Fluorgas und (b) nach der Behandlung mit Fluorgas.
Fig. 3 ist eine graphische Darstellung von Kurven für Kontaktwinkel von Oberflächen von Polytetra­ fluorethylen-Folien, die bei verschiedenen Temperaturen mit Fluorgas behandelt worden sind, nachdem die Oberflä­ chen durch Sandstrahlen (Kurve 1), Niedertemperaturplasma (Kurve 2), eine Drahtradbürste (Kurve 3) oder einen Band­ schleifer (Kurve 4) aufgerauht worden sind oder ohne irgendein Aufrauhen der Oberfläche (Kurve 5).
Fig. 4 ist eine graphische Darstellung von Kurven für Kontaktwinkel, die erhalten wurden, wenn Poly­ tetrafluorethylen-Folien unter verschiedenen Bedingungen bei verschiedenen Temperaturen in Beispiel 5 behandelt worden sind, wobei Kurve 1 den Fall wiedergibt, bei dem die Folie einfach wärmebehandelt wurde, Kurve 2 eine Be­ handlung mit Fluorgas während des Erhitzens wiedergibt, Kurve 3 eine Wärmebehandlung der aufgerauhten Oberfläche betrifft, Kurve 4 die Behandlung mit Fluorgas während des Erhitzens nach dem Aufrauhen der Oberfläche zeigt und bei Kurve 5 zuerst mit Fluorgas und dann wärmebehandelt wor­ den ist.
Fig. 5 ist eine Vorderansicht eines Prototyps einer Führungswalze zum Waschen von Glasplatten für Kri­ stallanzeigen, die bei einem Test benutzt wird, um die Eigenschaften des Formteiles mit verbesserter Wasserab­ stoßung der vorliegenden Erfindung zur Wasserentfernung zu bestätigen.
Detaillierte Beschreibung der Erfindung und bevorzugter Ausführungsformen
Es gibt keine spezifischen Beschränkungen da­ hingehend, ob das Formteil mit einem fluorhaltigen Gas oder wärmebehandelt wird, solange ein solches Formteil aus einem fluorhaltigen Polymer hergestellt ist. Zu den fluorhaltigen Polymeren, die in der vorliegenden Erfin­ dung benutzt werden können, gehören Polytetrafluorethylen (PTFE), Tetrafluorethylen-Perfluoralkyl-Vinylether-Copo­ lymer (PFA), Tetrafluorethylen-Hexafluorpropylen-Copoly­ mer (FEP), Polychlortrifluorethylen (PCTFE), Tetrafluor­ ethylen-Ethylen-Copolymer (ETFE), Chlortrifluorethylen- Ethylen-Copolymer (ECTFE), Polyvinylidenfluorid (PVdF) und Polyvinylfluorid (PVF).
Filme, Folien und andere Formteile aus diesen fluorhaltigen Polymeren, die nach irgendwelchen üblicher­ weise bekannten Verfahren hergestellt sind, wie dem Gieß­ verfahren, dem Schmelzextrusionsverfahren, Spritzgießen, Rotationsgießen, Blasformen, Kalandrieren, Dehnen oder Pressen, können benutzt werden. Die Zugabe verschiedener Bindemittel, Zusätze und Verarbeitungshilfsmittel zum Herstellen dieser Formteile ist nicht beschränkt.
Die Wasserabstoßung dieser Formteile aus fluor­ haltigem Polymer kann erhöht werden durch Aufrauhen der Oberfläche und Behandeln der aufgerauhten Oberfläche mit fluorhaltigem Gas. Das Aufrauhen der Oberfläche kann ent­ weder durch eine mechanische Behandlung oder durch eine elektrische Behandlung erfolgen. Schneidoperationen, wie Drahtbürsten, Bandschleifen, Sandstrahlen und Schneiden werden für die mechanische Behandlung angegeben, und Zer­ stäuben nach dem Niedertemperatur-Plasmaverfahren kann als ein typisches Beispiel der elektrischen Behandlung zum Aufrauhen der Oberfläche angegeben werden.
Dieses Aufrauhen verursacht das Durchschneiden der Molekülketten in der Oberfläche des Formteiles aus fluorhaltigem Polymer und macht die Oberfläche irregulär. Obwohl das Ausmaß dieser Irregularität bzw. Unregelmäßig­ keit nicht allgemein angegeben werden kann, ist Ra, in JIS B 0601 (Definition und Bezeichnung von Oberflächen­ rauheit) definiert als die mittlere Rauheit der Mittelli­ nie, 0,1-50 µm, vorzugsweise 0,2-15 µm, im Falle der me­ chanischen Behandlung. Ist Ra kleiner als 0,1 µm, dann werden durch die mechanische Behandlung keine Molekülket­ ten zerschnitten, was zu einer ungenügenden Verbesserung der Wasserabstoßung durch die Behandlung mit Fluorgas führt. Ist Ra größer als 50 µm, können Wassertropfen durch die Ausnehmungen auf der Oberfläche eingefangen werden, was auch zu einer ungenügenden Zunahme der Was­ serabstoßung führt. Die elektrische Behandlung verursacht ein Zerschneiden der Molekülkette selbst bei geringen Un­ regelmäßigkeiten auf der Oberfläche, so daß Ra von mehr als 0,1 µm, vorzugsweise von 0,2-2,0 µm, geeignet sein kann. Ist Ra kleiner als 0,1 µm, dann kann durch die Fluorgas-Behandlung keine Verbesserung in der Wasserab­ stoßung erzielt werden. Es ist schwierig, durch elektri­ sche Behandlung ein Ra von mehr als 3,0 µm zu erhalten.
Das Durchschneiden der Molekülkette in einem Formteil aus fluorhaltigem Polymer mit einem hohen Schmelzpunkt, wie Polytetrafluorethylen, kann durch me­ chanische Behandlung unter Verwendung einer Drahtradbür­ ste oder eines Bandschleifers leicht erhalten werden. Im Falle eines fluorhaltigen Polymers mit einem geringen Schmelzpunkt, wie Polytetrafluorethylen-Ethylen-Copoly­ mer, ist das Sandstrahlen bevorzugt. Die Behandlung mit einer Drahtradbürste kann aufgrund der Reibungswärme zu einem Schmelzen der Oberfläche führen.
Die Oberfläche eines Formteiles aus fluorhalti­ gem Polymer wird dann nach dem Aufrauhen mit Fluorgas oder einer Mischung von Fluorgas und einem Inertgas, wie Stickstoff oder Argon, (nachfolgend kollektiv als Fluor­ gas bezeichnet) behandelt, wobei die Konzentration an Inertgas vorzugsweise 10-90% ist. Die Temperatur, bei der das Formteil aus fluorhaltigem Polymer mit dem Fluorgas behandelt wird, hängt von den Arten fluorhaltigen Poly­ mers ab. Im allgemeinen ist eine Temperatur im Bereich von 100-300°C, besonders 150-250°C, bevorzugt. Es gibt enge Beziehungen zwischen der Konzentration des Fluor­ gases und der Behandlungszeit. Ist die Konzentration hoch, dann kann die Dauer der Behandlung mit dem Fluorgas kurz sein; ist die Konzentration gering, dann ist für die Behandlung eine längere Zeit erforderlich. Ist die Menge der Formteile aus fluorhaltigem Polymer, die in einen Be­ hälter gefüllt ist, wo sie mit Fluorgas behandelt werden, gering, dann mag die Konzentration des Fluorgases gering sein. Ist diese eingefüllte Menge groß, dann muß die Be­ handlung mit einer hohen Konzentration an Fluorgas ausge­ führt werden, oder sie erfordert eine längere Zeitdauer. Eine bevorzugte Konzentration des Fluorgases beträgt 1,33-66,5 kPa (10-500 torr), wenn die Behandlungszeit zehn Minuten bis eine Stunde beträgt.
Diese Oberflächenbehandlung des Formteiles aus fluorhaltigem Polymer mit Fluorgas nach dem Aufrauhen kann ausgeführt werden, indem man das Formteil in einem luftdichten Behälter anordnet, die Luft aus dem Behälter entfernt und Fluorgas oder ein gemischtes Gas in den Be­ hälter einführt, das ein Inertgas und Fluorgas enthält.
Wie oben erwähnt, induziert das Aufrauhen der Oberfläche der Formteile aus fluorhaltigem Polymer Unre­ gelmäßigkeiten auf der Oberfläche und zerschneidet die Molekülketten, was die Erzeugung nicht stabiler Endgrup­ pen verursacht. Diese nicht stabilen Endgruppen werden als von den durch die Polymerisation erzeugten Endgruppen verschieden angesehen; sie werden als Peroxyreste angese­ hen, die durch die Reaktion der durch die mechanische oder elektrische Behandlung erzeugten Reste und Sauer­ stoff in der Luft gebildet werden.
In Fig. 1 zeigt die Kurve (a) ein C1S-Spek­ trum, gemessen durch Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (ESCA) einer Polytetrafluorethylen-Folie ohne Behandlung mit Fluorgas, nachdem die Oberfläche mit einer Drahtrad­ bürste aufgerauht worden ist, und die Kurve (b) ist eine ähnliche Kurve, erhalten mit der Fluorgas-Behandlung nach dem Oberflächenaufrauhen. Fig. 2 zeigt O1S-Spektren, die den Kurven (a) und (b) für die C1S-Spektren in Fig. 1 entsprechen.
Das C1S-Spektrum hat für beide Kurven (a) und (b) eine Spitze für die -CF2-Gruppe bei 293,3 eV in Fig. 1. Die Kurve (a) des C1S-Spektrums hat eine andere Spitze bei 288,9 eV auf der Seite geringerer Energie, während die Kurve (a) des O1S-Spektrums eine Spitze bei 535 eV hat, was die Bildung von Peroxyresten nahelegt. Die Per­ oxyreste werden durch die Fluorgas-Behandlung in -CF3- Gruppen umgewandelt. Dies wird durch die Tatsache bestä­ tigt, daß die Kurve (b) in Fig. 1 keine Spitze bei 288,9 eV hat, und die Kurve (b) in Fig. 2 keine Spitze bei 535 eV hat.
Wegen der Unregelmäßigkeiten, die durch das Zerschneiden der Molekülkette durch das Aufrauhen erzeugt werden, ist es für eine Flüssigkeit schwieriger an der Oberfläche der Formteile aus fluorhaltigem Polymer zu haften. Außerdem wird davon ausgegangen, daß die durch das Aufrauhen gebildeten Endgruppen durch die Behandlung mit Fluorgas zu -CF3-Gruppen fluoriert worden sind, die eine geringere Oberflächenenergie haben als -CF2-Gruppen. Es wird davon ausgegangen, daß diese synergistisch wir­ ken, um die erhöhte Wasserabstoßung der Oberfläche her­ vorzubringen. Weiter gestattet es das Aufrauhen der Ober­ fläche, um winzige Unregelmäßigkeiten zu erzeugen, dem Material, außerordentlich dauerhaft zu sein, verglichen mit der Oberfläche, die durch Dispergieren eines wasser­ abstoßenden Füllstoffes in der Matrix wasserabstoßend ge­ macht worden ist.
Der Kontaktwinkel der Formteile aus fluorhal­ tigem Polymer, die durch die vorliegende Erfindung erhal­ ten werden, ist größer als der konventionell bekannte Kontaktwinkel von Polytetrafluorethylen, und der Maximal­ winkel ist so groß wie 155°. Dieser Kontaktwinkel bleibt, selbst unter der durch Reibung ausgeübten Belastung, gleich, was die hohe Wasserabstoßung für eine lange Zeit­ dauer aufrechterhält. Die durch die vorliegende Erfindung erhaltenen Formteile aus fluorhaltigem Polymer können da­ her verschiedenen Anwendungen zugeführt werden, bei denen diese Eigenschaften erforderlich sind.
Von den fluorhaltigen Polymeren weist Polyte­ trafluorethylen eine außerordentlich hohe Schmelzviskosi­ tät von etwa 1010 Pa·s bei einer Temperatur oberhalb des Schmelzpunktes auf. Formteile aus Polytetra­ fluorethylen können daher ihre Gestalt beibehalten, selbst wenn sie bis zu einer Temperatur oberhalb des Schmelzpunktes erhitzt werden. Gemäß der vorliegenden Er­ findung kann ein Formteil aus Polytetrafluorethylen mit einer erhöhten Wasserabstoßung geschaffen werden, indem man es auf eine Temperatur höher als den Schmelzpunkt und unterhalb der Zersetzungstemperatur des Polytetrafluor­ ethylens erhitzt.
Die Formteile aus Polytetrafluorethylen, die hier eingesetzt werden können, sind solche, hergestellt durch Vorformen von pulverförmigem Polytetrafluorethylen, Calcinieren dieses Materials durch freies Erhitzen oder Heißformen und mechanisches Bearbeiten der calcinierten Produkte. Diese schließen Filme, Folien bzw. Platten und andere Formteile verschiedener Gestalten ein. Die Zugabe verschiedener Bindemittel, Zusätze und Verarbeitungs­ hilfsmittel zum Herstellen dieser Formteile ist nicht be­ schränkt.
Die so hergestellten Formteile aus Polytetra­ fluorethylen werden dann bei einer Temperatur oberhalb des Schmelzpunktes und unterhalb der Zersetzungstempe­ ratur von Polytetrafluorethylen wärmebehandelt. Die Tem­ peratur oberhalb des Schmelzpunktes und unterhalb der Zersetzungstemperatur von Polytetrafluorethylen ist 327-399°C unter atmosphärischem Druck. Die Wasserabstoßung kann durch eine Wärmebehandlung unterhalb des Schmelz­ punktes von Polytetrafluorethylen nicht verbessert wer­ den, weil die Oberfläche des Formteiles aus Polytetra­ fluorethylen bei derart niedrigen Temperaturen überhaupt nicht schmilzt. Das Erhitzen auf oberhalb der Zerset­ zungstemperatur verursacht die Zersetzung von Polytetra­ fluorethylen. Eine bevorzugte Behandlungstemperatur liegt zwischen 340°C und 380°C.
Die Zeitdauer, während der die Formteile aus Polytetrafluorethylen wärmebehandelt werden, variiert in Abhängigkeit von den Größen und Dicken. Kleine und dünne Formteile erfordern nur eine kurze Zeitdauer, während für große und dicke Formteile die Erhitzungszeit lang sein muß.
Diese Wärmebehandlung erzeugt winzige Kügelchen aus Polytetrafluorethylen mit einem Durchmesser von etwa mehreren µm auf der Oberfläche der Formteile. Die Größe der winzigen Kügelchen kann im Bereich von 0,5-5,0 µm liegen, obwohl dieser nicht allgemein angegeben werden kann. Diese winzigen Kügelchen verursachen Unregelmäßig­ keiten von etwa mehreren µm, die auf der Oberfläche der Formteile aus Polytetrafluorethylen hergestellt werden sollen. Es wird davon ausgegangen, daß diese Unregelmä­ ßigkeiten zur Verbesserung der Wasserabstoßung der Ober­ fläche des Polytetrafluorethylens beitragen. Befinden sich Werkzeuge, Einspannvorrichtungen oder ähnliches in Kontakt mit der Oberfläche, während diese wärmebehandelt wird, dann bilden sich an dem Kontaktpunkt keine Kügel­ chen, so daß keine Verbesserung in der Wasserabstoßung auftritt. Aus diesem Grunde sollten sich während der Wär­ mebehandlung zur Verbesserung der Abstoßung keine Werk­ zeuge, Einspannvorrichtungen oder ähnliches in Kontakt mit den Formteilen aus Polytetrafluorethylen befinden. So kann zum Beispiel keine Verbesserung der Wasserabstoßung bei einer Polytetrafluorethylen-Folie bzw. -Platte er­ zielt werden, die nach der Wärmebehandlung bei 350°C in Kontakt zwischen Metallplatten gehalten wird. Der Kon­ takt- bzw. Netzwinkel der Oberfläche bleibt so klein wie 110°, was äquivalent dem ist, der Polytetrafluorethylen eigen ist.
Obwohl die Wasserabstoßung eines Formteiles aus Polytetrafluorethylen verbessert werden kann durch bloßes Wärmebehandeln der Oberfläche in dieser Weise, besteht ein wirksamerer Weg darin, die Wärmebehandlung in Kombi­ nation mit der vorerwähnten Behandlung mit dem fluorhal­ tigen Gas auszuführen. Verfahren und Bedingungen für die Behandlung mit dem fluorhaltigen Gas, die oben erläutert wurden, gelten für diese Behandlung in Kombination mit der Wärmebehandlung.
Obwohl es möglich ist, die Wärmebehandlung aus­ zuführen, nachdem das Formteil aus Polytetrafluorethylen zuerst mit einem fluorhaltigen Gas behandelt worden ist, besteht ein einfacherer und wirtschaftlicherer Weg darin, beide Behandlungen gleichzeitig auszuführen.
Darüber hinaus kann die Wasserabstoßung der Formteile aus Polytetrafluorethylen noch mehr erhöht wer­ den, wenn die Oberfläche zuerst durch die vorerwähnte me­ chanische Einrichtung aufgerauht und dann, gegebenenfalls in Kombination mit der Behandlung mit fluorhaltigem Gas, wärmebehandelt wird.
Es würde erwartet werden, daß das Aufrauhen zu­ erst ausgeführt werden kann, gefolgt von der Wärmebehand­ lung. Tatsächlich werden die durch das Aufrauhen erzeug­ ten Unregelmäßigkeiten jedoch durch die folgende Wärmebe­ handlung abgebaut, so daß keine Verbesserung der Wasser­ abstoßung erhalten wird.
Wird die Behandlung mit Fluorgas zuerst ausge­ führt, gefolgt von der die Oberfläche auf rauhenden Be­ handlung, dann kann keine Wirkung gemäß der vorliegenden Erfindung, d. h. kein Fluorieren der Endgruppen erhalten werden, die durch das Zerschneiden von Molekülketten aus Polytetrafluorethylen durch das Aufrauhen der Oberfläche erzeugt wurden. Durch Ausführen der Behandlung in dieser Reihenfolge kann somit keine Verbesserung der Wasserab­ stoßung erzielt werden.
Wie oben ausgeführt, erzeugt die Wärmebehand­ lung des Formteiles aus Polytetrafluorethylen winzige Un­ regelmäßigkeiten von etwa mehreren µm auf der Oberfläche. Diese winzigen Unregelmäßigkeiten machen die Fläche, an der Flüssigkeit an der Polytetrafluorethylen-Oberfläche haftet, klein, und es wird daher davon ausgegangen, daß sie die Wasserabstoßung erhöhen.
Das Ausführen dieser Wärmebehandlung, die Unre­ gelmäßigkeiten auf der Oberfläche erzeugt, in Kombination mit der Behandlung mit Fluorgas, die zum Fluorieren der Endgruppen des Polytetrafluorethylens zu -CF3 führt, das eine geringere Oberflächenenergie aufweist, verbessert daher die Wasserabstoßung stark.
Wird die Oberfläche des Formteiles aus Polyte­ trafluorethylen vorher durch eine mechanische Einrichtung aufgerauht, um die Endgruppen auf der Oberfläche zu ver­ mehren und Unregelmäßigkeiten zu erzeugen, dann erzeugt die auf das Aufrauhen folgende Wärmebehandlung winzigere und eine größere Anzahl von Unregelmäßigkeiten, die zu einem noch höheren Grad der Wasserabstoßung beitragen. Wird diese Oberfläche weiter mit Fluorgas behandelt, dann kann sie eine ausgezeichnete Wasserabstoßung zeigen, was bei irgendwelchen bekannten Materialien bisher nicht er­ sichtlich war.
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann der Kon­ taktwinkel des Polytetrafluorethylens gegenüber Wasser auf einen Wert so groß wie 168° erhöht werden, was den konventionell bekannten Kontaktwinkel von Polytetrafluor­ ethylen stark übersteigt. Die so erhaltenen Formteile aus Polytetrafluorethylen können in geeigneter Weise auf ver­ schiedenen Gebieten eingesetzt werden, auf denen diese ausgezeichnete Wasserabstoßung erforderlich ist.
Eine der besonders bevorzugten Anwendungen von Formteilen aus Polytetrafluorethylen mit hervorragender Wasserabstoßung ist bei einem Werkzeug oder einer Ein­ spannvorrichtung zum Halten von Teilen, die in einem Waschverfahren unter Verwendung eines wässerigen Mediums gewaschen werden sollen.
Werkzeuge oder Einspannvorrichtungen zum Halten von Teilen können hergestellt werden durch Formen von Polytetrafluorethylen in irgendeiner erwünschten Gestalt. Es gibt keine spezifischen Beschränkungen hinsichtlich des Formverfahrens. Verschiedene Bearbeitungstechniken für Kunststoff können gemäß den Zwecken, für die sie be­ nutzt werden, in geeigneter Weise kombiniert werden. Formteile, die durch Pressen zu einem Stab oder einer Platte hergestellt wurden, wärmebehandelt und durch Schneiden fertiggestellt wurden, gefolgt von einem Aufrau­ hen der Oberfläche, sind in Anbetracht der ausgezeichne­ ten Eigenschaften bezüglich des Ablaufens von Wasser be­ sonders bevorzugt.
Das so erhaltene Formteil aus Polytetrafluor­ ethylen mit einer erwünschten Gestalt wird dann mit Fluorgas behandelt.
Die vorerwähnten Verfahren zur Behandlung mit Fluorgas können ohne kritische Beschränkungen angewendet werden. Ein Beispiel dieser Verfahren umfaßt erstens das Anordnen der Formteile in einer aus Metall hergestellten Kammer, das Einstellen der Behandlungstemperatur, das Einführen von Fluorgas mit einer Konzentration in einem spezifischen Bereich in die Kammer, Halten der Gegenstän­ de für eine spezifische Zeitdauer, Ersetzen des Fluorga­ ses durch Luft und Herausnehmen der behandelten Formteile aus der Kammer.
Eine Temperatur zwischen gewöhnlichen Tempera­ turen und 250°C ist für die Behandlung bevorzugt. Eine Temperatur unterhalb gewöhnlicher bzw. Raumtemperatur ist nicht erwünscht, weil die Behandlung eine längere Zeit dauert und die Ablaufeigenschaften für Wasser ebenfalls dürftig sind. Es ist auch nicht erwünscht, die Behandlung oberhalb von 250°C auszuführen, weil eine thermische Ver­ formung der Formteile aus Polytetrafluorethylen bei einer hohen Temperatur stattfindet und die Abmessungsgenauig­ keit des Produktes vermindert wird. Eine besonders bevor­ zugte Temperatur liegt zwischen 150°C und 220°C.
Weil die Konzentration des Fluorgases in Bezie­ hung steht zur Behandlungstemperatur ist es erwünscht, die Fluorgas-Konzentration unter Berücksichtigung der Be­ handlungszeit entsprechend der Kapazität der benutzten Kammer auszuwählen. Wenn die Behandlungstemperatur gering ist, ist eine höhere Fluorgas-Konzentration erforderlich (die Behandlungszeit wird relativ länger), und ist die Behandlungstemperatur hoch, ist eine geringe Konzentra­ tion des fluorhaltigen Gases erforderlich (die Behand­ lungszeit wird relativ kürzer) - Berücksichtigt man die oben beschriebene Behandlungstemperatur, dann ist es er­ wünscht, eine Fluorgas-Konzentration im Bereich von 1,33-26,6 kPa und vorzugsweise im Bereich von 6,65-19,95 kPa zu haben.
Die aus Polytetrafluorethylen hergestellten Einspannvorrichtungen, die in Waschverfahren unter Ein­ satz wässerigen Mediums gemäß der vorliegenden Erfindung benutzt werden, schließen zum Beispiel Träger zum Waschen von Halbleiterscheiben, Träger zum Waschen von Glasplat­ ten für eine Flüssigkristallanzeige oder Führungsrollen zum Waschen von Glasplatten der Flüssigkristallanzeige ein.
Andere Merkmale der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung beispielhafter Ausführungsformen deutlich, die zur Veranschaulichung der Erfindung gegeben werden, diese aber nicht beschränken sollen.
Beispiele Beispiel 1
Oberflächen von Polytetrafluorethylen (PTFE)- Folien wurden nach den weiter unten definierten Verfahren 1, 2, 3 und 4 aufgerauht. Die Rauheit jeder Folie wurde unter Verwendung einer Vorrichtung zur Messung der Rau­ heit der Oberflächengestalt, Surcom 300B (Handelsname, hergestellt durch Tokyo Seimitsu Co.) gemäß JIS B 0601 gemessen. Als Ergebnis wurde festgestellt, daß die nach den Verfahren 1, 2, 3 und 4 aufgerauhten Folien Ras von 5,6 µm, 0,3 µm, 7,7 µm bzw. 3,1 µm aufwiesen. Die Folien wurden zu Rechtecken von 1×3 geschnitten und in einem zylindrischen Nickelbehälter mit einem Außendurchmesser von etwa 5 cm und einer Länge von 600 mm ange­ ordnet. Der Druck innerhalb des Behälters wurde auf 26,6 Pa vermindert und dann Fluorgas eingeführt, bis ein Druck von 13,3 kPa erreicht war. Die Folien wurden dann 10 Minuten lang wärmebehandelt, wäh­ rend die Temperatur durch Erhitzen von außen variiert wurde. Nach der Behandlung wurde das Fluorgas abgezogen und Stickstoffgas eingeführt, bis Atmosphärendruck er­ reicht war und dann die behandelten Folien herausgenom­ men. Der Grad der Wasserabstoßung wurde durch Messung der Kontaktwinkel ausgewertet. Die Ergebnisse sind in Fig. 3 gezeigt, in der die Kurve (5) die Ergebnisse an einer Folie repräsentiert, deren Oberfläche nicht aufgerauht war und die ein Ra von 0,09 µm hatte.
Verfahren zum Aufrauhen der Oberfläche
  • 1. Die Oberfläche einer PTFE-Folie (200×200×0,5 mm) wurde mit einer Sandstrahl-Maschine (hergestellt durch Japan Blast Machine Co.) und Eisenpulver Nr. 30 bei einem Injektions-Luftdruck von 3 bar (3 kg/cm2) auf ge­ rauht, woraufhin die Oberfläche mit einer starken Säure gewaschen wurde, um daran haftendes Eisenpulver zu ent­ fernen.
  • 2. Eine PTFE-Folie (100×100×0,5 mm) wurde in einem Plasmagenerator angeordnet. Der Druck innerhalb des Plasmagenerators wurde auf 1,33×10-2 Pa (10-4 Torr) verringert, und dann wurde Argongas eingeführt. Die PTFE- Folie wurde 50 Sekunden lang mit einem Niedertemperatur- Plasma behandelt, das erzeugt wurde durch elektrische Hochfrequenzleistung von 13,5 MHz und 400 W, während ein Druck von etwa 4 Pa (0,03 Torr) unter einem Argongas- Strom aufrechterhalten wurde.
  • 3. Eine PTFE-Folie (100×100×0,5 mm) wurde seitlich und längs aufgerauht unter Einsatz einer Draht­ radbürste aus korrosionsbeständigem Stahl (SUS 304) bei einer Rotationsgeschwindigkeit von 2000 U/min, während die Bürste durch Pressen der Spitzen an die Folie bis zu einer Tiefe von 1 mm festgehalten wurde.
  • 4. Die Oberfläche einer PTFE-Folie (100×100×0,5 mm) wurde unter Einsatz eines Bandschleifers, M648 (Handelsname, hergestellt durch Kikikawa Steel Co.), bei dem ein Band Nr. 240 benutzt wurde, aufgerauht.
Messung des Kontaktwinkels
Kontaktwinkel wurden mit einer Vorrichtung zum Messen von Kontaktwinkeln, CA-S150 (Handelsname, herge­ stellt durch Kyowa Kaimen Kagaku Co.) gemessen. Tropfen destillierten Wassers mit gleichmäßigem Durchmesser von 1 mm, die unter Verwendung eines Mikrokopfes einer Mikro­ spritze erzeugt wurden, wurden auf die Oberfläche der Proben getropft, während die Gleichgewichts-Kontaktwinkel abgelesen wurden. Der Kontaktwinkel jeder Probe wurde be­ stimmt durch Mitteln der Ergebnisse von 10 Messungen.
Ergebnisse
Die Ergebnisse sind in Fig. 3 gezeigt, die die folgenden Tatsachen demonstriert:
  • (1) Alle Folien, deren Oberflächen nach einem der Verfahren 1-4 aufgerauht worden waren, ergaben größe­ re Kontaktwinkel durch Behandlung mit Fluorgas bei 20-300°C, verglichen mit der Folie 5, deren Oberfläche nicht aufgerauht worden war. Der Kontaktwinkel wird in der Rei­ henfolge der Verfahren 1, 2, 3 und 4 größer.
  • (2) Folie 5, deren Oberfläche nicht aufgerauht worden war, zeigte nur eine geringe Zunahme beim Kontakt­ winkel, während die Kontaktwinkel der Folien, deren Ober­ flächen durch eines der Verfahren 1-4 aufgerauht worden waren, eine geringe Änderung von 20°C bis etwa 100°C, eine Zunahme ab etwa 100°C, eine Spitze bei etwa 200°C und dann eine Abnahme bei höheren Temperaturen zeigten.
Dies zeigt, daß der Kontaktwinkel von Proben, die mit Fluorgas nach dem Aufrauhen der Oberfläche behan­ delt wurden, groß ist, was eine erhöhte Wasserabstoßung zeigt.
Beispiele 2-3, Vergleichsbeispiele 1-2
Oberflächen von Folien aus Tetrafluorethylen- Perfluoralkyl-Vinylether-Copolymer (PFA) und Tetrafluor­ ethylen-Ethylen-Copolymer (ETFE), die beide eine Größe von 200×200×0,5 mm hatten, wurden nach dem Verfahren 1 in Beispiel 1 aufgerauht. Rechteckige Proben der glei­ chen Größe wie in Beispiel 1 wurden dann unter Verwendung der gleichen Ausrüstung wie in Beispiel 1 bei 200°C und einer Fluorgas-Konzentration von 53,2 kPa (400 Torr) 60 Minuten lang mit Fluorgas behandelt. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.
Als Vergleichsbeispiele wurden Folien aus PFA und ETFE ohne Aufrauhen den Oberfläche unter den gleichen Bedingungen mit Fluorgas behandelt. Die Ergebnisse sind auch in Tabelle 1 gezeigt. Wie in Tabelle 1 ersichtlich, wiesen Folien ohne Aufrauhen der Oberfläche nur eine ge­ ringe Zunahme des Kontaktwinkels auf, während solche, bei denen die Oberflächen aufgerauht worden waren, größere Kontaktwinkel hatten als die nach dem Verfahren 1 in Bei­ spiel 1 behandelte PTFE-Folie.
Tabelle 1
Beispiel 4 (Haltbarkeitstest)
Die Oberfläche einer PTFE-Folie wurde nach dem in Beispiel 1 beschriebenen Verfahren 3 aufgerauht und unter Verwendung der gleichen Ausrüstung wie in Beispiel 1 bei 200°C und mit einer Fluorgas-Konzentration von 1,33 kPa 10 Minuten lang mit Fluorgas behandelt. Diese Folie wurde dann einem Reibungstest unterworfen, bei dem die Folie 500mal mit einem Auto-Scheibenwischer abgewischt wurde. Der Kontaktwinkel wurde dann bestimmt und zu 149° festgestellt. Leitungswasser mit einer Strö­ mungsgeschwindigkeit von 1 l/min wurde kontinuierlich 24 Stunden lang auf eine andere Probe der Folie, die in gleicher Weise wie oben behandelt worden war, auf ge­ bracht. Der Kontaktwinkel wurde gemessen und zu 150° be­ stimmt, was zeigte, daß es nach der 24stündigen Anwen­ dung von Leitungswasser so gut wie keine Änderung im Kon­ taktwinkel gab.
Beispiel 5
PTFE-Folien (50×50×1 mm) wurden nach den unten beschriebenen Verfahren 1-5 behandelt. Die Folien wurden in einem zylindrischen Nickelbehälter mit einem Durchmesser von 55 mm und einer Länge von 600 mm angeord­ net und durch Erhitzen des Gefäßes von außen bei ver­ schiedenen Temperaturen wärmebehandelt, gefolgt von einem Abkühlen mit einer Rate von 100°C/h auf Raumtemperatur. Der Grad der Wasserabweisung wurde durch Messen der Kon­ taktwinkel nach dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 1 bestimmt. Die Ergebnisse sind in Fig. 4 gezeigt.
Behandlungsverfahren
  • 1. Eine PTFE-Folie wurde 10 Minuten lang bei verschiedenen Temperaturen wärmebehandelt.
  • 2. Eine PTFE-Folie wurde 10 Minuten lang bei verschiedenen Temperaturen wärmebehandelt, während sie mit Fluorgas bei 1,33 kPa behandelt wurde.
  • 3. Die Oberfläche einer PTFE-Folie wurde un­ ter Anwendung eines Bandschleifers, M648 (Handelsname, hergestellt durch Kikukawa Steel Co.) mit einem Band Nr. 240 aufgerauht. Die Rauheit der Folie wurde unter Anwen­ dung einer Vorrichtung zum Messen der Oberflächenrauheit, Surcom 300B (Handelsname, hergestellt durch Tokyo Seimit­ su Co.) gemäß JIS B 0601 gemessen und Ra zu 3,2 µm be­ stimmt.
  • 4. Eine PTFE-Folie, deren Oberfläche nach dem obigen Verfahren 3 aufgerauht worden war, wurde 10 Minu­ ten lang auf verschiedene Temperaturen erhitzt, während sie mit Fluorgas bei 1,33 kPa behandelt wurde.
  • 5. Eine PTFE-Folie wurde mit Fluorgas bei 1,33 kPa 10 Minuten lang bei einer Temperatur von 200°C behandelt, gefolgt von einer Wärmebehandlung bei verschiedenen Temperaturen.
Ergebnisse
Die Ergebnisse sind in Fig. 4 gezeigt.
Wie aus Fig. 4 deutlich wird, gab es bei der nach Verfahren 1 behandelten Folie fast keine Änderung im Kontaktwinkel bis zu 320°C, doch nahm der Kontaktwinkel bei 340°C stark zu.
Die nach dem Verfahren 2 behandelte Folie wies von etwa 5 bis 200°C eine Zunahme des Kontaktwinkels auf.
Dann gab es fast keine Änderung im Kontaktwinkel bis zu 320°C, doch nahm der Kontaktwinkel bei 340°C stark zu.
Bei der nach Verfahren 3 behandelten Folie, bei dem sowohl ein Aufrauhen der Oberfläche als auch eine Wärmebehandlung ausgeführt wurden, wie bei der nach Ver­ fahren 1 behandelten Folie, gab es fast keine Änderung im Kontaktwinkel bis zu 320°C, doch nahm der Kontaktwinkel bei 340°C stark zu.
Die nach dem Verfahren 4 behandelte Folie, bei dem die Wärmebehandlung zusammen mit der Behandlung mit Fluorgas ausgeführt wurde, zeigte eine Zunahme im Kon­ taktwinkel bis auf 155° bei 200°C. Bei 320°C hatte der Kontaktwinkel um 10° abgenommen. Die Behandlung bei 340°C führte jedoch zu einer Zunahme des Kontaktwinkels bis zum höchsten Wert von 168°, was den bei 200°C erreichten Kon­ taktwinkel überstieg.
Die nach Verfahren 5 behandelte Folie 5, bei dem die Wärmebehandlung der Behandlung mit Fluorgas folg­ te, zeigte die gleiche Tendenz in den Kontaktwinkel-Wer­ ten wie die nach Verfahren 1 behandelte Folie.
Diese Ergebnisse zeigen, daß die Wärmebehand­ lung bei einer Temperatur von 340-399°C eine scharfe Zunahme im Kontaktwinkel hervorbringt. Wird die Wärmebe­ handlung zusammen mit der Fluorgas-Behandlung ausgeführt, dann kann ein größerer Kontaktwinkel erhalten werden. Wird ein Formteil aus PTFE, dessen Oberfläche vorher auf­ gerauht worden war, benutzt, dann kann der höchste Kon­ taktwinkel erhalten werden, der eine hervorragende Was­ serabstoßung zeigt.
Beispiele 6-8, Vergleichsbeispiel 3
Walzen- bzw. rollenförmige Formteile aus Poly­ tetrafluorethylen wurden mit einem verstärkenden SUS-Ma­ terial geschaffen und zu einer Wulst-und-Spulen-Gestalt geschnitten. So wurde eine Nachbildung einer Führungs­ rolle (20×270 mm), wie sie in Fig. 5 gezeigt ist, zum Waschen von Glasplatten für eine Flüssigkristallanzeige hergestellt. Dann wurde die Nachbildung der Führungsrolle unter den in der folgenden Tabelle 2 angegebenen Bedin­ gungen einer Behandlung mit Fluorgas unterworfen.
Tabelle 2
Ein Wasserablauf-Test wurde ausgeführt, wobei drei Nachbildungen von Führungsrollen, wie sie in den Beispielen 6-8 angegeben sind, und eine Nachbildung einer Führungsrolle (Vergleichsbeispiel) ohne Fluorgas-Behand­ lung als Testproben benutzt wurden. Jede Testprobe wurde mittels einer elektronischen Waage gewogen, um ihr Ge­ wicht im ursprünglichen Zustand zu bestimmen. Ein mit de­ stilliertem Wasser gefülltes Glasreservoir wurde unter den an der elektronischen Waage aufgehängten Proben ange­ ordnet. Dann wurde das Glasreservoir mit einer Geschwin­ digkeit von 5 cm/s angehoben, bis alle Proben vollständig im Wasser eingetaucht waren. Fünf Minuten später wurde das Glasreservoir mit einer Geschwindigkeit von etwa 5 cm/s abgesenkt, um die Proben vollständig aus dem Reser­ voir zu entfernen, und dann wurden die Proben erneut ge­ wogen. Diese Operation wurde fünfmal wiederholt, und der Unterschied zwischen dem Gewicht der Probe nach dem Ein­ tauchen und dem ursprünglichen Gewicht (Anzahl des Ein­ tauchens: 0) wurde als die Wassermenge (g) genommen, die an der Probe haftete. Die Meßbedingungen waren eine Was­ sertemperatur von 22°C, Raumtemperatur von 24°C und eine Feuchte von 45%. Die Ergebnisse sind in der folgenden Ta­ belle 3 gezeigt.
Tabelle 3
Wie aus Tabelle 3 deutlich wird, betrug die Menge des an jeder der Proben der Beispiele 6-8 haftenden Wassers nur 1/2 bis 1/7 der an der Probe des Vergleichs­ beispiels 3 haftenden Menge, was die ausgezeichneten Was­ serablauf-Eigenschaften der Formteile der vorliegenden Erfindung zeigt.
Im Lichte der obigen Lehren sind offensichtlich zahlreiche Modifikationen und Variationen der vorliegen­ den Erfindung möglich. Es sollte daher klar sein, daß die Erfindung im Rahmen der beigefügten Ansprüche anders aus­ geführt werden kann, als hier spezifisch beschrieben.

Claims (13)

1. Formteil aus fluorhaltigem Polymer mit erhöhter Was­ serabstoßung, erhalten durch eine Behandlung der Oberflä­ che mit einem fluorhaltigen Gas nach dem Aufrauhen der Oberfläche.
2. Formteil aus fluorhaltigem Polymer nach Anspruch 1, wobei das Aufrauhen der Oberfläche durch eine mechanische Behandlung oder eine elektrische Behandlung ausgeführt ist.
3. Formteil aus fluorhaltigem Polymer nach Anspruch 1, wobei die Behandlung mit einem fluorhaltigen Gas unter Erhitzen ausgeführt ist.
4. Formteil aus fluorhaltigem Polymer nach Anspruch 3, worin das Erhitzen bei 100-300°C ausgeführt ist.
5. Formteil aus Polytetrafluorethylen mit erhöhter Was­ serabstoßung, erhalten durch eine Wärmebehandlung der Oberfläche bei einer Temperatur zwischen dem Schmelzpunkt und der Zersetzungstemperatur.
6. Formteil aus Polytetrafluorethylen nach Anspruch 5, wobei die Wärmebehandlung nach dem Aufrauhen der Oberflä­ che ausgeführt ist.
7. Formteil aus Polytetrafluorethylen mit erhöhter Was­ serabstoßung, erhalten durch eine Behandlung mit einem fluorhaltigen Gas unter Wärmebehandlung der Oberfläche bei einer Temperatur zwischen dem Schmelzpunkt und der Zersetzungstemperatur.
8. Formteil aus Polytetrafluorethylen mit erhöhter Was­ serabstoßung, erhalten durch eine Behandlung mit einem fluorhaltigen Gas, gefolgt von einer Wärmebehandlung der Oberfläche bei einer Temperatur zwischen dem Schmelzpunkt und der Zersetzungstemperatur.
9. Formteil aus Polytetrafluorethylen nach Anspruch 7 oder Anspruch 8, wobei die Behandlung mit dem fluorhalti­ gen Gas nach dem Aufrauhen der Oberfläche ausgeführt ist.
10. Einspannvorrichtung, die in Waschverfahren unter Verwendung eines wässerigen Waschmediums eingesetzt wird, hergestellt aus Polytetrafluorethylen, dessen Oberfläche mit einem fluorhaltigen Gas behandelt ist.
11. Einspannvorrichtung nach Anspruch 10, worin die Be­ handlung mit dem fluorhaltigen Gas bei einer Temperatur zwischen gewöhnlichen Temperaturen und 250°C und bei ei­ ner Fluorgas-Konzentration von 1,33-26,6 kPa (10-200 Torr) ausgeführt ist.
12. Einspannvorrichtung nach Anspruch 10, hergestellt aus einem Formteil aus Polytetrafluorethylen durch Schneiden.
13. Einspannvorrichtung nach Anspruch 10, die ein Träger zum Waschen von Halbleiterscheiben, ein Träger zum Wa­ schen von Glasplatten einer Flüssigkristallanzeige oder eine Führungsrolle zum Waschen der Glasplatten der Flüs­ sigkristallanzeige ist.
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