WO2015000727A1 - Apparatus for determining the mass flow of a vapour transported in a carrier gas - Google Patents

Apparatus for determining the mass flow of a vapour transported in a carrier gas Download PDF

Info

Publication number
WO2015000727A1
WO2015000727A1 PCT/EP2014/063096 EP2014063096W WO2015000727A1 WO 2015000727 A1 WO2015000727 A1 WO 2015000727A1 EP 2014063096 W EP2014063096 W EP 2014063096W WO 2015000727 A1 WO2015000727 A1 WO 2015000727A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
mass flow
filaments
filament
temperature
carrier gas
Prior art date
Application number
PCT/EP2014/063096
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Michael Long
Original Assignee
Aixtron Se
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aixtron Se filed Critical Aixtron Se
Publication of WO2015000727A1 publication Critical patent/WO2015000727A1/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/74—Devices for measuring flow of a fluid or flow of a fluent solid material in suspension in another fluid
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects

Definitions

  • the invention initially relates to a device for determining the mass flow of a transported in a carrier gas vapor of a solid or liquid starting material, with a Stromgaseinspeisekanal for feeding a carrier gas whose mass flow is determinable or adjustable by a first mass flow meter / controller, one with the Mass flow meter in the flow direction connected flow channel, in which a Dampfeinspei- se sewer or in which a steam generator is arranged, connected in the flow direction with the flow channel second mass flow meter, arranged in the flow direction behind the second mass flow meter outlet channel for the exit of a carrier gas vapor mixture, and with an electronic electronic Evaluation device for forming an output value by relating the measured values of the first mass flow meter / regulator with the measured value of the second mass flow meter, wherein the second mass flow rate It has heated filaments which lie one behind the other in the flow direction and are heated by a control device by means of an electric current to different temperatures from each other.
  • the invention further relates to a method for determining the mass flow of a transported in a carrier gas vapor of a solid or liquid starting material, wherein the carrier gas is passed through a Stromgaseinspei- se channel and a first mass flow meter / regulator with which determines a mass flow value of the injected carrier gas or set in which the steam is fed or generated in a flow channel arranged downstream of the first mass flow meter / regulator in the flow direction, wherein a mass flow value of the mixture of carrier gas and steam is determined with a second mass flow meter, into which the flow channel opens, which mixture exits through an outlet channel, wherein an output value corresponding to the mass flow of the steam is formed by relating the mass flow values ,
  • the second mass flow meter has heated filaments which lie one behind the other in the flow direction and are heated by a control device by means of an electric current to different temperatures from each other.
  • the invention further relates to a device for use in one of the above-mentioned device or a method mentioned above, wherein the mass flow meter has heated filaments which are behind one another in the flow direction and are heated by a control device in each case by means of an electric current to different temperatures.
  • a method and a device of this type is described in DE 10 2011 051 931 AI.
  • a carrier gas is fed into a mass flow controller or mass flow meter.
  • the mass flow of the carrier gas is determined or, if it is a mass flow controller, the mass flow of the carrier gas is set.
  • This mass flow is mixed in a mixing zone with a vapor of a liquid or solid starting material.
  • the liquid or solid starting material is first converted into an aerosol.
  • the aerosol is then evaporated in an evaporator.
  • the vapor thus generated either in a flow channel or generated within the flow channel is then fed to a second mass flow meter, which determines the mass flow of the mixture of carrier gas and steam.
  • the two measured values are used to determine the mass flow of the steam.
  • the second mass flow meter has filaments which lie one behind the other in the flow direction and with which a heat transport from one filament to the other filament is determined.
  • the mass flow of the carrier gas is excluded from the mass flow of the carrier gas vapor mixture, so that the mass flow of the pure vapor remains as the initial value.
  • the feed of the steam so in particular the supply of an aerosol can be regulated, so that with the device, a controlled mass flow of the vapor can be generated.
  • This vapor is fed to a coating device, in which the steam flows from a heated gas introduction member into a process chamber. In the process chamber is a substrate which lies on a cooled substrate carrier.
  • the dosed steam is to condense to a layer.
  • the feed of the carrier gas into the first mass flow controller takes place at pressures which are above the atmospheric pressure.
  • the pressure in the, downstream of the first mass flow meter, flow channel system is in the range between 1 and 10 mbar.
  • the first mass flow controller acts as a kind of throttle.
  • the pressure in the downstream flow channel system is controlled by a pressure regulator which cooperates with a vacuum pump located downstream of the process chamber.
  • EP 2 057454 B1 describes a Pirani vacuum gauge for measuring the pressure of a vaporized organic material. Two filaments close to each other are heated by passing through the filaments
  • a mass flow meter is known in which a heating element is maintained at a temperature which is greater than the gas temperature. Contaminants can accumulate on the heating elements. By suitable control, the temperature is kept at a constant value, irrespective of any accumulation of impurities.
  • Mass flowmeters which via the frame transport, the mass flow of a fluid are also known from US 2004/0040386 AI, US 2007/00251315 AI and US 3,680,377.
  • the invention has for its object to provide measures by which a mass flow can be determined with sufficient precision even at low total pressures.
  • the task is solved first and foremost by the fact that the
  • Temperature of the filaments is maintained by varying the power fed into the filaments power to a predetermined value and the mass flow is determined from the value of the injected power.
  • the power is selected by a control device so that the temperature of the filaments, regardless of the flow through the mass flow meter maintains a constant temperature.
  • each filament is individually associated with a control / control device with which the filament is controlled at a predetermined temperature.
  • a first fluid in the flow direction In this case, lament can be kept at a first temperature which is lower than the temperature at which a second filament arranged behind the first filament in the flow direction is held.
  • the filaments are arranged so close together that the amount of heat introduced into the gas also affects the adjacent filament.
  • an isotherm field builds up around each filament.
  • the upstream filament is heated not only by the electric power introduced into the filament. It is also heated by heat conduction from downstream in the flow direction filament. The heating is carried out essentially only by heat conduction through the gas, which has a total pressure of 1 to 10 mbar.
  • the filaments are essentially thermally decoupled from the solid-state environment, that is to say in particular from a supporting body carrying the filaments. If a gas stream flows through the mass flow meter, the isothermal field is displaced around the filaments in the flow direction. As a result, the upstream, lower temperature filament is heated somewhat less by the heating power of the downstream hotter filament. As a result, a larger electrical power must be fed into the filament to keep the temperature better constant.
  • three filaments are provided.
  • a third filament is arranged downstream of the second filament in the direction of flow.
  • the temperature of the third filament is lower than the temperature of the second filament.
  • the third filament is influenced by the heat flow emanating from the second filament. If a gas flow flows through the mass flow meter, more heat is supplied to the third filament by the second filament, so that the heating tion, which must be introduced into the third filament in order to keep its temperature constant, must be reduced.
  • the material from which the filaments are made has a temperature-dependent resistance, so that from the current through the filament and the voltage applied to the filament, the temperature of the filament can be determined.
  • the temperature at which the filaments are held is preferably less than the decomposition temperature of the vapor.
  • the temperature is higher than the condensation temperature of the steam.
  • the temperature of the flow channels, through which the carrier gas vapor mixture flows, is higher than the condensation temperature of the vapor.
  • It may be another or more filaments may be provided, for example, to determine the temperature of the carrier gas vapor mixture.
  • At least one further filament is provided, which is arranged either upstream or downstream of the three previously described filaments.
  • This at least one filament is arranged so close to the consisting of three filaments filament arrangement that heat is transferred to this additional filament.
  • a further development provides that a total of five filaments are provided, which are arranged so close together that a heat energy transfer takes place by heat conduction through the gas between two adjacent filaments. In such an arrangement, the two have The filaments lying at the most extreme temperature, that is to say the most upstream and downstream filaments, respectively have the lowest temperature and the filament arranged in the middle has the highest temperature.
  • the respective filaments arranged between the outermost and the middle filaments have a temperature which is in each case between the temperatures of the filaments adjacent to them.
  • the temperatures are kept constant by supplying a corresponding power so that the mass flow can be determined on the basis of the power required to maintain the temperature.
  • the two complementary sensor elements formed by the filaments each have a temperature control device assigned to them individually. With this arrangement, the cross sensitivity can be further reduced.
  • heat is transferred from the hotter filament to the cooler filament by heat conduction through the gas. If the gas flows through the flow volume of the mass flow meter, heat is also transferred by convection in the flow direction of the gas.
  • the filaments are arranged in a gas-permeable first support body.
  • the support body may be a foam body, which is arranged approximately in the middle of the flow cross-section of a flow channel.
  • the end face of the carrier body, through which the carrier gas vapor mixture flows into the carrier body, is less than 50% of the flow cross-section.
  • the foam body consists of a solid state foam. The solid is heat resistant.
  • the filaments are essentially connected only to the edge of the support body. They project freely through a recess of the support body, which has a jacket, so that the attachment points of the filaments are associated with the jacket.
  • the first support body is arranged in a second support body.
  • the second support body forms a support for the first support body.
  • this support body may be formed by a foam solids.
  • the pore size of the first solid-state foam, which carries the filaments, is less than the pore width of the second support body forming solid state foam.
  • the specific flow resistance of the first support body is greater than the specific flow resistance of the second support body.
  • the first support body may have a recess in which the three filaments are arranged closely adjacent to one another.
  • the filaments can lie side by side there in a linear arrangement.
  • the filaments upstream in the direction of flow shadow the downstream filaments.
  • the filaments may have a helical pitch. They are attached only with their ends to a support body, so that the heat flow from the filament is minimized in the support body.
  • the filaments have a minimal thermal mass. They can be surrounded by a ceramic shell.
  • the foam body which receives the filaments, has two opposite end faces, in which the carrier gas vapor mixture can flow in and out.
  • the shell wall located between the end walls is gas-tight.
  • the recess in which the filaments lie has walls which are only open in the flow direction, so that substantially no gas can enter the recess transversely to the main flow direction.
  • the first foam body may have a pore size of 100 pores per inch.
  • the second foam body on the other hand, can only have 45 pores per inch.
  • the filaments are preferably made of tungsten and are similar to the incandescent filaments of an incandescent lamp. The ends of the filaments are each connected to leads made of constantan wire.
  • the supply lines are connected to control devices, which are in the filaments feeding in electrical power and determining the temperature of the respective filament from the current and the voltage.
  • control devices which are in the filaments feeding in electrical power and determining the temperature of the respective filament from the current and the voltage.
  • the invention pursues a single-controller concept in which each filament is connected to a controller associated therewith.
  • the controllers provide output values that correspond to the power fed into the filaments.
  • an evaluation circuit of the mass flow meter determines the mass flow of the mixture of carrier gas and steam through the mass flow meter from the electrical powers fed into the filaments.
  • the optional temperature sensor increases accuracy.
  • the mass flow measured value is fed to an evaluation device which is part of a control device.
  • This evaluation device essentially carries out a subtraction of the mass flow value of the carrier gas supplied by the first mass flow meter from the mass flow value supplied by the second mass flow meter, so that the net amount of the steam mass flow remains as output value.
  • a superordinate control device can control the steam feed, so that a carrier gas mixed steam generator supplies a constant steam mass flow.
  • the steam generation rate can be influenced by the amount of aerosol generator fed into an evaporator. But the steam generation rate can also be influenced by a variation of the carrier gas flow or by a variation of the evaporation capacity of the evaporator, ie by its temperature.
  • the carrier gas vapor mixture thus produced is fed to a coating device.
  • This coating device has a process chamber into which the carrier gas vapor mixture is introduced by means of a heated gas inlet element.
  • FIG. 2 is an enlarged view of a mass flow meter according to the invention in a representation according to Figure 1,
  • 5a shows the temperature profile in the flow direction through the section of the mass flow meter in which the filaments 12, 13, 14 are arranged
  • Fig. 5c shows the powers PI ', ⁇ 3', P4 'which have to be fed into the filaments 12, 13, 14 when a gas flows through the mass flow meter to reach the temperatures shown in FIG. 5a
  • 6 shows a representation according to FIG. 4 of a further exemplary embodiment
  • FIG. 7a is a representation according to FIG. 5a of the embodiment shown in FIG. 4,
  • Fig. 7c is a representation according to FIG. 5c.
  • FIG. 1 shows schematically the essential elements of a device according to the invention.
  • a carrier gas stream 1 which may be, for example, hydrogen, nitrogen or a noble gas, is fed through a carrier gas feed channel 4 into a first mass flow meter 5. It can also be a mass flow controller. With the mass flow meter 5 or mass flow controller, the mass flow of the carrier gas 1 fed into the carrier gas feed channel 4 is measured in a manner known per se. This measured value Mi is forwarded to an off-value device 11. But it is also envisaged that the carrier gas flow 1 is regulated. Mi is then the mass flow that flows through the mass flow controller 5.
  • the mass flow of the carrier gas 1 flows through a flow channel 6, 6 ', 6 "to a second mass flow meter 8.
  • the vapor of a liquid or a solid starting material is fed into the flow channel 6 by means of a steam feed 7.
  • a starting material 3 is, for example, via an aerosol generator 34 is converted into an aerosol, heat is supplied to the aerosol so that it is converted into steam
  • a device can be used to generate steam, as described in DE 10 2011 051 263 A1. from which with a screw conveyor 33, a powder is conveyed into an aerosol generator 34.
  • the carrier flowing through the flow channel 6 enters gas flow.
  • the pulverulent solid starting material 3 is injected into the carrier gas stream.
  • the aerosol is transported via the flow channel 6 'to an evaporator 35.
  • the evaporator may be formed by a solid state foam. It is an electrically conductive solid, through the foam pores of the solid carrier gas mixture can enter the foam. By passing an electrical current, the evaporator 35 is heated to an evaporation temperature, so that the solid constituents of the aerosol evaporate.
  • Flow channel 6 "then enters the carrier gas 1 with the transported by him steam. 2
  • the carrier gas vapor mixture is transported to the said second mass flow meter 8, in which there is a mass flow measuring arrangement consisting of three filaments 12, 13, 14.
  • the three filaments 12 , 13, 14 are arranged one behind the other in the flow direction
  • the filaments 12, 13, 14 have a line-like arrangement and lie parallel to one another.
  • a support body 20 is provided to hold the filaments 12, 13, 14 stationary.
  • the filaments 12, 13, 14 are held only at their two ends, so that a minimal heat transfer is given to the filaments formed by a solid body 20 of the filaments.
  • the support body 20 is a solid-state foam 20. It forms a recess 23 in which the filaments 12, 13, 14 are arranged.
  • the filaments each consist of a helix, as used in commercial incandescent lamps become.
  • the coils are made of tungsten, but are surrounded with a ceramic mass 27. This ceramic jacket isolates the metal coil from the gas flow. With this ceramic composition, the two ends of the filaments facing away from one another are also connected to the edge of the support body 20.
  • the filaments 12, 13, 14 are spaced apart, they do not touch. They also do not touch the side wall of the recess 23. They are merely fastened with their two ends to the casing 26 'of the support body 20.
  • the filaments are arranged so close together that they are in heat transfer contact with each other.
  • the heat transfer takes place by heat conduction through the gas transported through the flow channel 6.
  • the gas preferably has a total pressure between 1 and 10 mbar. The heat transfer to the support body 20 at the attachment points is minimal on the other hand.
  • Each of the three filaments 12, 13, 14 is maintained at a constant temperature Ti, T 2 , T 3 with an individual control device 16, 17, 18.
  • the relevant temperatures are indicated in FIG. 5a.
  • Tc indicates the condensation temperature of the vapor. It can be seen that the temperatures Ti, T 2 , T 3 of the filaments 12, 13, 14 are higher than the condensation temperature.
  • the first support body 20 is inserted in a second support body 22, which holds the first support body in a central position within the flow cross-section of a tube 21 through which the gas flow passes.
  • the second support body may also consist of a solid state foam.
  • the pore width of the first solid-state foam is less than the pore width of the second solid-state foam.
  • the outer support body 22 is form filling in the cross section of the tube 21, through which the gas flow passes. He has a shaft 30, in which the inner support body 20 is inserted.
  • the leads 29 to the filaments 12, 13, 14 are made through the shaft 30 therethrough.
  • the recess 23 in which the three filaments 12, 13, 14 are located is permeable only in the flow direction. Transverse to the flow direction, the recess 23 has a circumferentially closed wall 26, 26 '.
  • the wall 26, 26 ' may consist of ceramic material, for example mica plates.
  • FIG. 5b shows the powers Pi, P 2 , P 3 which are required in order to keep the filaments 12, 13, 14 at the temperatures Ti, T 2 , T 3 during a stationary flow through the tube 21, that is, through the mass flow meter 8 ,
  • the temperature Ti of the first filament in the flow direction is lower than the temperature T 2 of the second filament 13 in the direction of flow.
  • the temperature T 3 of the third filament 14 in the flow direction is again lower than that Temperature T 2 of the middle filament.
  • the temperatures Ti and T 2 can be about the same size.
  • the power which has to be fed into the central filament 13 in order to maintain it at the temperature T 2 is greater than the powers P 1 and P 3 required for the filaments 12 or 14 to keep at the temperatures Ti and T 3 .
  • the services Pi and P 3 are about the same size in the embodiment. But they can be different, because the filaments differ from each other for tolerance reasons.
  • FIG. 5c shows the powers ⁇ ', ⁇ 2 ', P 3 'which are required to keep the filaments 12, 13, 14 at the temperatures Ti, T 2 , T 3 when a gas stream flows through the mass flow meter 8 . It can be seen that the powers which have to be fed into the filaments 12 and 14 differ by a larger ⁇ than in the case of a stationary flow (FIG. 5 b).
  • the temperature Ti, T 2 , T 3 of the filaments 12, 13, 14 is determined by the resistance of the filaments.
  • the distance Xi with which the filaments 12, 13 are spaced apart, is approximately the same size as the distance X 2 , with which the two filaments 13 and 14 are spaced from each other. These distances are on the order of the diameters of the ceramic sheaths 27, in order to ensure that the filaments 12, 13, 14 thermally influence each other even when the flow is at a standstill and gas pressures in the millibar range.
  • the filaments 12, 13, 14 are also in a parallel position to each other.
  • the distance X 3 with which the filament 15 is spaced from the filament 14, is substantially greater than the distances Xi and X 2 . The distance X 3 is so great that the filaments 12, 13, 14 thermally do not affect the filament 15.
  • a portion of porous material of the solid 20 is located between the recess for receiving the filaments 12, 13, 14 and the recess 31 for receiving the filament 15.
  • a variable electrical power Pi, P 2 , P 3 is fed into the filaments 12, 13, 14.
  • the power Pi, P 2 , P 3 are so dimensioned that the temperatures Ti, T 2 , T 3 of the filaments are kept at a constant value.
  • This evaluation device forms the difference between the mass flow value M 2 and a mass flow value Mi, which the first mass flow meter 5 supplies, so that the output signal A is the net mass flow of the steam 10, which leaves the entire measuring arrangement through the outlet channel 9 and is fed by a further flow line, not shown, into a process chamber, as is basically known from DE 10 2011 051 931 A1, from which the carrier gas flows out again into a vacuum pump, with the pumping power of which the total pressure at least within the flow channel 6 ", in which the carrier gas vapor mixture is transported, keeps in the low pressure range.
  • the temperature TG of the carrier gas by means of the filament 15, which is preferably arranged downstream of the filaments 12, 13, 14, the accuracy of the measured value M 2 can be improved.
  • FIG. 6 shows a representation according to FIG. 4 of a further exemplary embodiment, in which a total of five filaments 12 ', 12, 13, 14, 14' are arranged in the recess 23 of the support body 20.
  • the diagram Fig. 7 shows the temperature of these filaments.
  • another filament 12 ' which is held at a constant temperature by a control device 16', is located upstream of the filament 12. For this purpose, the power P 4 is fed into the filament 12 '.
  • a further filament 14 ' is arranged, which is supplied by a control device 18' with power P 6 , in order to keep the filament 14 'at a temperature T 6 .
  • the filament 13 arranged in the middle is held at the highest temperature T 2 .
  • the filaments 12 and 14 immediately adjacent to this filament 13 are maintained at the temperatures Ti and T 3 , respectively, which are lower than the temperature T 2 .
  • the two supplementary filaments 12 ', 14' are kept at the temperatures Ts and T 6 , respectively.
  • the two temperatures Ts and T 6 are lower than the temperatures Ti and T 3 of the adjacent filaments 12, 14.
  • the filaments 12 'and 14' are arranged so close to them immediately adjacent filaments 12 and 14 that the filaments 12 'and 12 and 14 and 14', respectively, heat-energetically influence, which means that heat is transferred from the filament 12 'to the filament 12 or from the filament 12 to the filament 12' by the gas or heat from the filament 14 to the Filament 14 'or filament 14' onto the filament. lament 14 is transferred.
  • the heat transport mechanism is heat conduction through the carrier gas, which may be hydrogen, nitrogen, helium, argon or another noble gas, heat conduction through the gas.
  • carrier gas With carrier gas in flow, the heat transfer is additionally convection.
  • the total gas pressure is less than 10 mbar.
  • the overlying filaments 12 ', 14' have the lowest temperatures, that is, the temperature Ti of the filament 12 is higher than the temperature Ts of the filament 12 and the temperature T 3 of the filament 14 is higher than the temperature T 6 of the filament 14 ', a heat transport takes place by way of heat conduction from the filament 12 to the filament 12' or from the filament 14 to the filament 14 '.
  • FIG. 7b shows the operating state in which no gas flows through the mass flow meter.
  • the powers Ps and P 6 which are necessary to keep the filaments 12 ', 14' at the temperatures Ts and T 6 , about the same size, since the temperatures Ts and T 6 are also about the same size .
  • the power Pi or P 3 in order to keep the sensors 12 and 14 at the temperatures Ti and T 3 , is greater. In the exemplary embodiment, these powers are also about the same size, because the temperatures Ti and T 3 are the same.
  • the greatest power P 2 is applied to heat the middle filament T 3 to the highest temperature T 2 .
  • a device characterized in that the control means (16, 17, 18) is arranged so that the temperature (Ti, T 2 , T 3 ) of each filament (12, 13, 14) by selecting one in the respective filament (12, 13, 14) supplied electric power (Pi, P 2 , P 3 ) is maintained at a predetermined value and the output value (A) from the value of each of the filaments (12, 13, 14) fed power (Pi , P 2 , P 3 ) is determined.
  • a device characterized in that the control means (16, 17, 18) is arranged so that the temperature (Ti, T 2 , T 3 ) of each filament (12, 13, 14) by selecting one in the respective filament (12, 13, 14) supplied electric power (Pi, P 2 , P 3 ) is maintained at a predetermined value and the mass flow of the values of each of the filaments (12, 13, 14) fed power (Pi, P 2 , P 3 ) is determined.
  • Device or method according to one of the preceding claims characterized in that the control device for each filament (12, 13, 14) has its own control device (16, 17, 18), with which the filament (12, 13, 14) on the predetermined temperature (Ti, T 2 , T 3 ) is regulated.
  • An apparatus or method characterized in that the temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) on which the filaments (12, 13, 14) are held are less than the decomposition temperature of the vapor (2).
  • a device which is characterized in that at least three, preferably at least four or five filaments (12 ', 12, 13, 14, 14') are arranged one behind the other in the direction of flow, wherein two adjacent filaments are coupled to each other in terms of thermal energy.
  • a device which is characterized in that the filaments (12, 13, 14, 15) are arranged in a gas-permeable first support body (20), in particular a first foam body.
  • a device which is characterized in that the first support body (20) in a second support body, in particular a second foam body (22) inserted.
  • a device which is characterized in that the pores of the first foam body (20) are smaller than the pores of the second foam body (22).
  • a device characterized in that the first foam body (20) has two end faces (24, 25) pointing away from one another and a peripheral surface (26, 26 ') adjoining the end faces (24, 25), wherein 24) enters a gas stream in the foam body (20) and from an opposite second end face (25) of the gas stream from the
  • Foam body (20) can emerge and the peripheral surface (26, 26 ') between the two end faces (24, 25) is sealed gas-tight.
  • a device which is characterized in that the filaments (12, 13, 14, 15) have the shape of a helix and extend freely between two mutually opposite jacket wall sections of the support bodies and / or that the filaments (12, 13, 14, 15 ) are coated with a ceramic material (27).
  • a device which is characterized in that the filaments (12, 13, 14) are thermally decoupled from the support body (20) and are arranged close to one another, that at a total pressure in the range of 1 to 10 mbar, the heat transfer from the hotter filament ( 13) to the cooler filament (12, 14) is substantially heat conduction through the gas.
  • a device characterized in that the spacing of the filaments (12, 13, 14) and their temperature (Ti, T 3 ) is selected such that the temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) of the filaments influence one another ,

Abstract

The invention relates to an apparatus for determining the mass flow of a vapour (2) of a solid or liquid starting material (3), which vapour is transported in a carrier gas (1), having a first mass flowmeter/controller (5) which provides a first measured value (M1) which corresponds to the mass flow of a carrier gas which has been fed in, having a vapour feed (7), a second mass flowmeter (8) which provides a second measured value (M2) which corresponds to the mass flow of a carrier gas vapour mixture (10), and having an electronic evaluation device (11) for forming an output value (A) corresponding to the mass flow of the vapour by relating the first measured value (M1) to the second measured value (M2), wherein the second mass flowmeter (8) has heated filaments (12, 13, 14) which are behind one another in the direction of flow and are each heated by a control device (16, 17, 18) to temperatures (T1, T2, T3) different from one another using an electrical current. The control device (16, 17, 18) is set up in such a manner that the temperature (T1, T2, T3) of each filament (12, 13, 14) is held at a predefined value by selecting an electrical power (P1 , P2, P3) which is fed into the particular filament (12, 13, 14), and the output value (A) is determined from the value of the powers (P1, P2 , P3) fed into the filaments (12, 13, 14) in each case.

Description

Vorrichtung zum Bestimmen des Massenflusses eines in einem Trägergas transportierten Dampfs  Device for determining the mass flow of a vapor transported in a carrier gas
Die Erfindung betrifft zunächst eine Vorrichtung zum Bestimmen des Massen- flusses eines in einem Trägergas transportierten Dampfs eines festen oder flüssigen Ausgangsstoffes, mit einem Trägergaseinspeisekanal zum Einspeisen eines Trägergases, dessen Massenfluss durch einen ersten Massenflussmes- ser/ Regler bestimmbar oder einstellbar ist, einem mit dem Massenflussmesser in Strömungsrichtung verbundenen Strömungskanal, in den ein Dampfeinspei- sekanal mündet oder in dem ein Dampferzeuger angeordnet ist, ein in Strömungsrichtung mit dem Strömungskanal verbundenen zweiten Massenflussmesser, einem in Strömungsrichtung hinter dem zweiten Massenflussmesser angeordneten Austrittskanal zum Austritt eines Trägergasdampfgemisches, sowie mit einer elektronischen elektronische Auswerteeinrichtung zur Bildung eines Ausgabewertes durch In-Beziehung-setzen der Messwerte des ersten Massenflussmesser/Reglers mit dem Messwert des zweiten Massenflussmes- sers, wobei der zweite Massenflussmesser beheizte Filamente aufweist, die in Strömungsrichtung hintereinander liegen und von einer Steuereinrichtung jeweils mittels eines elektrischen Stroms auf voneinander verschiedene Tempera- turen beheizt werden. The invention initially relates to a device for determining the mass flow of a transported in a carrier gas vapor of a solid or liquid starting material, with a Trägergaseinspeisekanal for feeding a carrier gas whose mass flow is determinable or adjustable by a first mass flow meter / controller, one with the Mass flow meter in the flow direction connected flow channel, in which a Dampfeinspei- se sewer or in which a steam generator is arranged, connected in the flow direction with the flow channel second mass flow meter, arranged in the flow direction behind the second mass flow meter outlet channel for the exit of a carrier gas vapor mixture, and with an electronic electronic Evaluation device for forming an output value by relating the measured values of the first mass flow meter / regulator with the measured value of the second mass flow meter, wherein the second mass flow rate It has heated filaments which lie one behind the other in the flow direction and are heated by a control device by means of an electric current to different temperatures from each other.
Die Erfindung betrifft darüber hinaus ein Verfahren zum Bestimmen des Massenflusses eines in einem Trägergas transportierten Dampfs eines festen oder flüssigen Ausgangsstoffes, wobei das Trägergas durch einen Trägergaseinspei- sekanal und einem ersten Massenflussmesser/Regler geleitet wird, mit dem ein Massenflusswert des eingespeisten Trägergases bestimmt oder eingestellt wird, wobei in einem dem ersten Massenflussmesser/Regler in Strömungsrichtung nachgeordneten Strömungskanal der Dampf eingespeist oder erzeugt wird, wobei mit einem zweiten Massenflussmesser, in den der Strömungskanal mündet, ein Massenflusswert des Gemisches aus Trägergas und Dampf bestimmt wird, welches Gemisch durch einen Austrittskanal austritt, wobei ein dem Mas- senfluss des Dampfes entsprechender Ausgangswert durch In-Beziehung- setzen der Massenflusswerte gebildet wird, wobei der zweite Massenflussmesser beheizte Filamente aufweist, die in Strömungsrichtung hintereinander liegen und von einer Steuereinrichtung mittels eines elektrischen Stroms auf voneinander verschiedene Temperaturen beheizt werden. Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Verwendung in einer der oben genannten Vorrichtung bzw. einem zuvor genannten Verfahren, wobei der Massenflussmesser beheizte Filamente aufweist, die in Strömungsrichtung hintereinander liegen und von einer Steuereinrichtung jeweils mittels eines elektrischen Stroms auf voneinander verschiedene Temperaturen beheizt werden. The invention further relates to a method for determining the mass flow of a transported in a carrier gas vapor of a solid or liquid starting material, wherein the carrier gas is passed through a Trägergaseinspei- se channel and a first mass flow meter / regulator with which determines a mass flow value of the injected carrier gas or set in which the steam is fed or generated in a flow channel arranged downstream of the first mass flow meter / regulator in the flow direction, wherein a mass flow value of the mixture of carrier gas and steam is determined with a second mass flow meter, into which the flow channel opens, which mixture exits through an outlet channel, wherein an output value corresponding to the mass flow of the steam is formed by relating the mass flow values , Wherein the second mass flow meter has heated filaments which lie one behind the other in the flow direction and are heated by a control device by means of an electric current to different temperatures from each other. The invention further relates to a device for use in one of the above-mentioned device or a method mentioned above, wherein the mass flow meter has heated filaments which are behind one another in the flow direction and are heated by a control device in each case by means of an electric current to different temperatures.
Ein Verfahren und eine Vorrichtung dieser Art wird in der DE 10 2011 051 931 AI beschrieben. Durch einen Trägergaseinspeisekanal wird ein Trägergas in einen Massenflussregler oder Massenflussmesser eingespeist. Mit diesem Mas- senflussmesser wird der Massenfluss des Trägergases bestimmt bzw. wenn es sich um einen Massenflussregler handelt, der Massenfluss des Trägergases eingestellt. Dieser Massenfluss wird in einer Mischzone mit einem Dampf eines flüssigen oder festen Ausgangsstoffes gemischt. Hierzu wird der flüssige oder feste Ausgangsstoff zunächst in ein Aerosol gewandelt. Das Aerosol wird dann in einem Verdampfer verdampft. Der so entweder in einen Strömungskanal eingespeiste Dampf oder innerhalb des Strömungskanals erzeugte Dampf wird dann einem zweiten Massenflussmesser zugeleitet, der den Massenfluss des Gemisches von Trägergas und Dampf bestimmt. Durch In-Beziehung-setzen der beiden Messwerte wird der Massenfluss des Dampfes ermittelt. Der zweite Massenflussmesser besitzt Filamente, die in Strömungsrichtung hintereinander liegen und mit denen ein Wärmetransport von einem Filament zum anderen Filament bestimmt wird. Durch das In-Beziehung-setzen wird der Massenfluss des Trägergases aus dem Massenfluss des Trägergasdampfgemisches herausgerechnet, so dass als Ausgangswert der Massenfluss des reinen Dampfes verbleibt. Mit Hilfe dieses Massenflusses kann die Einspeisung des Dampfs, also insbesondere die Einspeisung eines Aerosols geregelt werden, so dass mit der Vorrichtung ein geregelter Massenfluss des Dampfes erzeugbar ist. Dieser Dampf wird einer Beschichtungseinrichtung zugeleitet, in der der Dampf aus einem beheizten Gaseinleitungsorgan in eine Prozesskammer einströmt. In der Prozesskammer befindet sich ein Substrat, welches auf einem gekühlten Substratträger liegt. Auf diesem Substrat soll der dosiert eingespeiste Dampf zu einer Schicht kondensieren. Die Einspeisung des Trägergases in den ersten Massenflussregler erfolgt bei Drucken die oberhalb des Atmosphärendrucks liegen. Der Druck in dem, dem ersten Massenflussmesser nachgeordneten, Strömungskanalsystem liegt im Bereich zwischen 1 und 10 mbar. Der erste Massenflussregler wirkt gewissermaßen als Drossel. Der Druck im nachgeordneten Strömungskanalsystem wird von einem Druckregler geregelt, der mit einer Vakuumpumpe zusammen wirkt, die stromabwärts der Prozesskammer angeordnet ist. A method and a device of this type is described in DE 10 2011 051 931 AI. Through a Trägergaseinspeisekanal a carrier gas is fed into a mass flow controller or mass flow meter. With this mass flow meter, the mass flow of the carrier gas is determined or, if it is a mass flow controller, the mass flow of the carrier gas is set. This mass flow is mixed in a mixing zone with a vapor of a liquid or solid starting material. For this purpose, the liquid or solid starting material is first converted into an aerosol. The aerosol is then evaporated in an evaporator. The vapor thus generated either in a flow channel or generated within the flow channel is then fed to a second mass flow meter, which determines the mass flow of the mixture of carrier gas and steam. By relating The two measured values are used to determine the mass flow of the steam. The second mass flow meter has filaments which lie one behind the other in the flow direction and with which a heat transport from one filament to the other filament is determined. By putting into relationship, the mass flow of the carrier gas is excluded from the mass flow of the carrier gas vapor mixture, so that the mass flow of the pure vapor remains as the initial value. With the help of this mass flow, the feed of the steam, so in particular the supply of an aerosol can be regulated, so that with the device, a controlled mass flow of the vapor can be generated. This vapor is fed to a coating device, in which the steam flows from a heated gas introduction member into a process chamber. In the process chamber is a substrate which lies on a cooled substrate carrier. On this substrate, the dosed steam is to condense to a layer. The feed of the carrier gas into the first mass flow controller takes place at pressures which are above the atmospheric pressure. The pressure in the, downstream of the first mass flow meter, flow channel system is in the range between 1 and 10 mbar. The first mass flow controller acts as a kind of throttle. The pressure in the downstream flow channel system is controlled by a pressure regulator which cooperates with a vacuum pump located downstream of the process chamber.
Die EP 2 057454 Bl beschreibt einen Unterdruckmesser vom Typ Pirani zum Messen des Drucks eines verdampften organischen Materials. Zwei nahe bei einander liegende Filamente werden beheizt, indem durch die Filamente einEP 2 057454 B1 describes a Pirani vacuum gauge for measuring the pressure of a vaporized organic material. Two filaments close to each other are heated by passing through the filaments
Strom hindurch fließt. Die Temperatur der Filamente wird durch die Änderung des Widerstandes gemessen. Aus den US 6,370,950 Bl und US 6,629,456 B2 sind Massenflussmesser bekannt zum Messen des Massenflusses eines gasförmigen Mediums. Durch eine entsprechende Leistungseinspeisung in die Heizelemente wird ihre Temperaturdifferenz auf Null gehalten. Current flows through it. The temperature of the filaments is measured by the change in resistance. From US 6,370,950 Bl and US 6,629,456 B2 mass flow meter are known for measuring the mass flow of a gaseous medium. By a corresponding power feed into the heating elements their temperature difference is kept at zero.
Aus der US 8,069,718 B2 ist ein Massenflussmesser bekannt, bei dem ein Heizelement auf einer Temperatur gehalten wird, die größer ist als die Gastemperatur. An den Heizelementen können sich Verunreinigungen anlagern. Durch eine geeignete Regelung wird die Temperatur unabhängig von einer etwaigen Anlagerung von Verunreinigungen auf einem konstanten Wert gehalten. From US 8,069,718 B2, a mass flow meter is known in which a heating element is maintained at a temperature which is greater than the gas temperature. Contaminants can accumulate on the heating elements. By suitable control, the temperature is kept at a constant value, irrespective of any accumulation of impurities.
Massenflussmessgeräte, die über den Rahmentransport den Massenfluss eines Fluidums sind ferner bekannt aus den US 2004/0040386 AI, US 2007/00251315 AI und US 3,680,377. Mass flowmeters, which via the frame transport, the mass flow of a fluid are also known from US 2004/0040386 AI, US 2007/00251315 AI and US 3,680,377.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde Maßnahmen anzugeben, mit denen ein Massenfluss auch bei geringen Totaldrucken mit ausreichender Präzision bestimmbar ist. Gelöst wird die Aufgabe zunächst und im Wesentlichen dadurch, dass dieThe invention has for its object to provide measures by which a mass flow can be determined with sufficient precision even at low total pressures. The task is solved first and foremost by the fact that the
Temperatur der Filamente durch Variation der in die Filamente eingespeisten Leistung auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird und der Massenfluss aus dem Wert der eingespeisten Leistung ermittelt wird. Die Leistung wird von einer Regeleinrichtung so gewählt, dass die Temperatur der Filamente unab- hängig von der Strömung durch den Massenflussmesser eine konstante Temperatur behält. Dabei ist insbesondere vorgesehen, dass jedem Filament individuell eine Regel-/ Steuereinrichtung zugeordnet ist, mit der das Filament auf einer vorgegebenen Temperatur geregelt wird. Ein in Strömungsrichtung erstes Fi- lament kann dabei auf einer ersten Temperatur gehalten werden, die kleiner ist als die Temperatur auf der ein zweites in Strömungsrichtung hinter dem ersten Filament angeordnetes Filament gehalten ist. Die Filamente sind derart dicht nebeneinander angeordnet, dass die in das Gas eingebrachte Wärmemenge auch das benachbarte Filament beeinträchtigt. Ist beispielsweise die Strömung durch den Massenflussmesser Null, so baut sich um jedes Filament ein Isothermenfeld auf. Das stromaufwärts gelegene Filament wird nicht nur durch die in das Filament eingebrachte elektrische Leistung aufgeheizt. Es wird auch über Wärmeleitung vom in Strömungsrichtung nachgeordnetem Filament auf- geheizt. Dabei erfolgt die Aufheizung im Wesentlichen lediglich durch Wärmeleitung durch das Gas hindurch, welches einen Total druck von 1 bis 10 mbar besitzt. Die Filamente sind im Wesentlichen von der Festkörperumgebung also insbesondere von einem die Filamente tragenden Tragkörper thermisch entkoppelt. Strömt ein Gasstrom durch den Massenflussmesser, so wird das Iso- thermenfeld um die Filamente in Strömungsrichtung verschoben. Dies hat zur Folge, dass das stromaufwärts gelegene, eine niedrigere Temperatur aufweisende Filament etwas geringer durch die Heizleistung des stromabwärts gelegenen heißeren Filaments aufgeheizt wird. Als Folge dessen muss in das Filament eine größere elektrische Leistung eingespeist werden, um die Temperatur besser konstant zu halten. Temperature of the filaments is maintained by varying the power fed into the filaments power to a predetermined value and the mass flow is determined from the value of the injected power. The power is selected by a control device so that the temperature of the filaments, regardless of the flow through the mass flow meter maintains a constant temperature. It is provided in particular that each filament is individually associated with a control / control device with which the filament is controlled at a predetermined temperature. A first fluid in the flow direction In this case, lament can be kept at a first temperature which is lower than the temperature at which a second filament arranged behind the first filament in the flow direction is held. The filaments are arranged so close together that the amount of heat introduced into the gas also affects the adjacent filament. For example, if the flow through the mass flow meter is zero, an isotherm field builds up around each filament. The upstream filament is heated not only by the electric power introduced into the filament. It is also heated by heat conduction from downstream in the flow direction filament. The heating is carried out essentially only by heat conduction through the gas, which has a total pressure of 1 to 10 mbar. The filaments are essentially thermally decoupled from the solid-state environment, that is to say in particular from a supporting body carrying the filaments. If a gas stream flows through the mass flow meter, the isothermal field is displaced around the filaments in the flow direction. As a result, the upstream, lower temperature filament is heated somewhat less by the heating power of the downstream hotter filament. As a result, a larger electrical power must be fed into the filament to keep the temperature better constant.
In einer bevorzugten Ausgestaltung sind drei Filamente vorgesehen. Ein drittes Filament ist in Strömungsrichtung dem zweiten Filament nachgeordnet. Die Temperatur des dritten Filaments ist niedriger als die Temperatur des zweiten Filaments. Bei stillstehender Strömung im Massenflussmesser wird das dritte Filament von dem vom zweiten Filament ausgehenden Wärmefluss beeinflusst. Fließt eine Gasströmung durch den Massenflussmesser, so wird dem dritten Filament vom zweiten Filament mehr Wärme zugeführt, so dass die Heizleis- tung, die in das dritte Filament eingebracht werden muss, um dessen Temperatur konstant zu halten, vermindert werden muss. Der Werkstoff, aus dem die Filamente gefertigt sind, besitzt einen temperaturabhängigen Widerstand, so dass aus dem Strom durch das Filament und der am Filament anliegenden Spannung die Temperatur des Filaments bestimmt werden kann. Die Temperatur, auf der die Filamente gehalten werden, ist bevorzugt geringer als die Zerlegungstemperatur des Dampfes. Die Temperatur ist aber höher als die Kondensationstemperatur des Dampfes. Auch die Temperatur der Strömungskanäle, durch die das Trägergasdampfgemisch strömt, ist höher als die Kondensati- onstemperatur des Dampfes. Es kann ein weiteres oder es können mehrere weitere Filamente vorgesehen sein, beispielsweise um die Temperatur des Trägergasdampfgemisches zu bestimmen. Es gibt somit mehrere Filamente, die in Stromrichtung hintereinander angeordnet sind. Stromaufwärts dieses die höchste Temperatur aufweisenden Filaments und stromabwärts dieses Fila- ments ist zumindest jeweils ein weiteres Filament angeordnet, welches eine niedrige Temperatur besitzt. Die beiden weiteren Filamente haben einen derartigen Abstand zum die höchste Temperatur aufweisenden Filament, dass vom die höchste Temperatur aufweisenden Filament Wärme auf das stromabwärtige bzw. stromaufwärtige Filament durch Wärmeleitung durch das Gas übertragen wird. In einer Weiterbildung der Erfindung ist zumindest ein weiteres Filament vorgesehen, welches entweder stromaufwärts oder stromabwärts der drei zuvor beschriebenen Filamente angeordnet ist. Dieses zumindest eine Filament ist derart dicht an der aus drei Filamenten bestehenden Filamentanordnung angeordnet, dass auch auf dieses ergänzende Filament Wärme übertragen wird. Ei- ne Weiterbildung sieht vor, dass insgesamt fünf Filamente vorgesehen sind, die derart dicht nebeneinander angeordnet sind, dass ein Wärmeenergieübertrag durch Wärmeleitung durch das Gas hindurch zwischen zwei benachbarten Filamenten stattfindet. Bei einer derartigen Anordnung haben die beiden zuäu- ßerst liegenden Filamente, also das stromaufwärtigste und stromabwärtigste Filament jeweils die niedrigste Temperatur und das in der Mitte angeordnete Filament die höchste Temperatur. Die jeweils zwischen dem äußersten und dem mittleren Filament angeordneten Filamente besitzen eine Temperatur, die jeweils zwischen den Temperaturen der ihnen benachbarten Filamente liegt. Die Temperaturen werden durch Einspeisen einer entsprechenden Leistung konstant gehalten, so dass anhand der zur Temperaturkonstanthaltung erforderlichen Leistung der Massenfluss bestimmbar ist. Die beiden ergänzenden von den Filamenten gebildeten Sensorelemente haben jeweils eine ihnen indi- viduell zugeordnete Temperaturregeleinrichtung. Mit dieser Anordnung können die Querempfindlichkeiten weiter gesenkt werden. In einem Betriebszustand, bei dem ein Gas innerhalb des Durchströmungsvolumens des Massen- flussmessers ruht und einen Totaldruck von wenigen Millibar besitzt, erfolgt ein Wärmetransport vom heißeren Filament zum kühleren Filament durch Wärmeleitung durch das Gas. Durchströmt das Gas das Durchströmungsvolumen des Massenflussmessers, so wird Wärme auch durch Konvektion in Strömungsrichtung des Gases übertragen. In a preferred embodiment, three filaments are provided. A third filament is arranged downstream of the second filament in the direction of flow. The temperature of the third filament is lower than the temperature of the second filament. When the flow in the mass flow meter is stationary, the third filament is influenced by the heat flow emanating from the second filament. If a gas flow flows through the mass flow meter, more heat is supplied to the third filament by the second filament, so that the heating tion, which must be introduced into the third filament in order to keep its temperature constant, must be reduced. The material from which the filaments are made, has a temperature-dependent resistance, so that from the current through the filament and the voltage applied to the filament, the temperature of the filament can be determined. The temperature at which the filaments are held is preferably less than the decomposition temperature of the vapor. The temperature is higher than the condensation temperature of the steam. The temperature of the flow channels, through which the carrier gas vapor mixture flows, is higher than the condensation temperature of the vapor. It may be another or more filaments may be provided, for example, to determine the temperature of the carrier gas vapor mixture. There are thus several filaments which are arranged one behind the other in the flow direction. Upstream of this filament, which has the highest temperature, and downstream of this filament, at least one further filament, which has a low temperature, is arranged at least in each case. The two further filaments have such a distance from the highest temperature filament that heat is transferred from the highest temperature filament to the downstream filament by heat conduction through the gas. In a development of the invention, at least one further filament is provided, which is arranged either upstream or downstream of the three previously described filaments. This at least one filament is arranged so close to the consisting of three filaments filament arrangement that heat is transferred to this additional filament. A further development provides that a total of five filaments are provided, which are arranged so close together that a heat energy transfer takes place by heat conduction through the gas between two adjacent filaments. In such an arrangement, the two have The filaments lying at the most extreme temperature, that is to say the most upstream and downstream filaments, respectively have the lowest temperature and the filament arranged in the middle has the highest temperature. The respective filaments arranged between the outermost and the middle filaments have a temperature which is in each case between the temperatures of the filaments adjacent to them. The temperatures are kept constant by supplying a corresponding power so that the mass flow can be determined on the basis of the power required to maintain the temperature. The two complementary sensor elements formed by the filaments each have a temperature control device assigned to them individually. With this arrangement, the cross sensitivity can be further reduced. In an operating state in which a gas rests within the flow volume of the mass flow meter and has a total pressure of a few millibars, heat is transferred from the hotter filament to the cooler filament by heat conduction through the gas. If the gas flows through the flow volume of the mass flow meter, heat is also transferred by convection in the flow direction of the gas.
In einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Filamente in einem gasdurch- lässigen ersten Tragkörper angeordnet sind. Bei dem Tragkörper kann es sich um einen Schaumkörper handeln, der etwa in der Mitte des Strömungsquerschnitts eines Strömungskanals angeordnet ist. Die Stirnfläche des Tragkörpers, durch die das Trägergasdampfgemisch in den Tragkörper einströmt, ist weniger als 50 % des Durchströmungsquerschnitts. Der Schaumkörper besteht aus einem Festkörperschaum. Der Festkörper ist hitzebeständig. Die Filamente sind im Wesentlichen nur mit dem Rand des Tragkörpers verbunden. Sie durchragen frei eine Ausnehmung des Tragkörpers, der einen Mantel aufweist, so dass die Befestigungspunkte der Filamente dem Mantel zugeordnet sind. In einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass der erste Tragkörper in einem zweiten Tragkörper angeordnet ist. Der zweite Tragkörper bildet einen Träger für den ersten Tragkörper. Auch dieser Tragkörper kann von einem Schaumfestkörper ausgebildet sein. Die Porenweite des ersten Festkörperschaums, der die Filamente trägt, ist geringer als die Porenweite des den zweiten Tragkörper ausbildenden Festkörper schaums. Als Folge dessen ist der spezifische Strömungswiderstand des ersten Tragkörpers größer als der spezifische Strömungswiderstand des zweiten Tragkörpers. Der erste Tragkörper kann ei- ne Aussparung besitzen, in der die drei Filamente eng benachbart nebeneinander angeordnet sind. Die Filamente können dort in linearer Anordnung nebeneinander liegen. Die in Strömungsrichtung vorgeordneten Filamente schatten die in Strömungsrichtung nachgeordneten Filamente ab. Die Filamente können eine Wendelgangform besitzen. Sie sind lediglich mit ihren Enden an einem Tragkörper befestigt, so dass der Wärmefluss vom Filament in den Tragkörper minimiert ist. Die Filamente besitzen eine minimale thermische Masse. Sie können von einem Keramikmantel umgeben sein. Der Schaumkörper, der die Filamente aufnimmt, besitzt zwei sich gegenüberliegende Stirnseiten, in die das Trägergasdampfgemisch einströmen und ausströmen kann. Die zwischen den Stirnwänden gelegene Mantelwand ist gasdicht ausgeführt. Die Aussparung, in der die Filamente liegen, besitzt Wände die lediglich in Strömungsrichtung offen sind, so dass im Wesentlichen kein Gas quer zur Hauptströmungsrichtung in die Aussparung eintreten kann. Der erste Schaumkörper kann eine Porenweite von 100 Poren pro Inch aufweisen. Der zweite Schaumkörper kann hin- gegen lediglich 45 Poren pro Inch aufweisen. Die Filamente bestehen vorzugsweise aus Wolfram und ähneln den Glühwendeln einer Glühlampe. Die Enden der Filamente sind jeweils mit Zuleitungen aus Konstantandraht verbunden. Die Zuleitungen sind mit Regeleinrichtungen verbunden, die in die Filamente elektrische Leistung einspeisen und die aus dem Strom und der Spannung die Temperatur des jeweiligen Filaments bestimmen. Die Erfindung verfolgt insbesondere ein Einzelregler-Konzept, beim dem jedes Filament mit einem ihm zugeordneten Regler verbunden ist. Die Regler liefern Ausgangswerte, die der in die Filamente eingespeisten Leistung entspricht. Anhand einer Tabelle oder dergleichen ermittelt eine Auswerteschaltung des Massenflussmessers aus den in die Filamente eingespeisten elektrischen Leistungen den Massenfluss des Gemisches aus Trägergas und Dampf durch den Massenflussmesser. Mit dem optionalen Temperatursensor lässt sich die Genauigkeit erhöhen. Der Massen- flussmesswert wird einer Auswerteeinrichtung zugleitet, die Teil einer Steuereinrichtung ist. Diese Auswerteeinrichtung führt im Wesentlichen eine Subtraktion des vom ersten Massenflussmesser gelieferten Massenflusswert des Trägergases von dem vom zweiten Massenflussmesser gelieferten Massenflusswert durch, so dass als Ausgangswert der Nettobetrag des Dampfmassenflusses ver- bleibt. Mit diesem Ausgangswert kann eine übergeordnete Regeleinrichtung die Dampfeinspeisung steuern, so dass ein Trägergasdampfgemischerzeuger einen konstanten Dampfmassenfluss liefert. Die Dampferzeugungsrate lässt sich einerseits durch die Menge des in einen Verdampfer eingespeisten Aerosolerzeuger beeinflussen. Die Dampferzeugungsrate lässt sich aber auch durch eine Variation des Träger gas Stromes oder durch eine Variation der Verdampfungsleistung des Verdampfers, also durch dessen Temperatur beeinflussen. Das so erzeugte Trägergasdampfgemisch wird einer Beschichtungsvorrichtung zugeleitet. Diese Beschichtungsvorrichtung besitzt eine Prozesskammer, in die durch ein geheiztes Gaseinlassorgan das Trägergasdampfgemisch eingeleitet wird. Hierzu wird insbesondere auf den Inhalt der WO 2012/175124 verwiesen. Hinsichtlich der Erzeugung eines Aerosols und dessen Verdampfung und Ein- speisung in eine Prozesskammer wird auch auf die DE 10 2011 051 263 AI verwiesen, deren Inhalt vollumfänglich in diese Anmeldung mit einbezogen wird. Selbiges gilt auch für die DE 10 2011 051 931 AI, die bereits das grundsätzliche Prinzip der Dampfmassenflussmessung offenbart. In a further development, it is provided that the filaments are arranged in a gas-permeable first support body. The support body may be a foam body, which is arranged approximately in the middle of the flow cross-section of a flow channel. The end face of the carrier body, through which the carrier gas vapor mixture flows into the carrier body, is less than 50% of the flow cross-section. The foam body consists of a solid state foam. The solid is heat resistant. The filaments are essentially connected only to the edge of the support body. They project freely through a recess of the support body, which has a jacket, so that the attachment points of the filaments are associated with the jacket. In a development of the invention, it is provided that the first support body is arranged in a second support body. The second support body forms a support for the first support body. Also, this support body may be formed by a foam solids. The pore size of the first solid-state foam, which carries the filaments, is less than the pore width of the second support body forming solid state foam. As a result, the specific flow resistance of the first support body is greater than the specific flow resistance of the second support body. The first support body may have a recess in which the three filaments are arranged closely adjacent to one another. The filaments can lie side by side there in a linear arrangement. The filaments upstream in the direction of flow shadow the downstream filaments. The filaments may have a helical pitch. They are attached only with their ends to a support body, so that the heat flow from the filament is minimized in the support body. The filaments have a minimal thermal mass. They can be surrounded by a ceramic shell. The foam body, which receives the filaments, has two opposite end faces, in which the carrier gas vapor mixture can flow in and out. The shell wall located between the end walls is gas-tight. The recess in which the filaments lie has walls which are only open in the flow direction, so that substantially no gas can enter the recess transversely to the main flow direction. The first foam body may have a pore size of 100 pores per inch. The second foam body, on the other hand, can only have 45 pores per inch. The filaments are preferably made of tungsten and are similar to the incandescent filaments of an incandescent lamp. The ends of the filaments are each connected to leads made of constantan wire. The supply lines are connected to control devices, which are in the filaments feeding in electrical power and determining the temperature of the respective filament from the current and the voltage. In particular, the invention pursues a single-controller concept in which each filament is connected to a controller associated therewith. The controllers provide output values that correspond to the power fed into the filaments. Based on a table or the like, an evaluation circuit of the mass flow meter determines the mass flow of the mixture of carrier gas and steam through the mass flow meter from the electrical powers fed into the filaments. The optional temperature sensor increases accuracy. The mass flow measured value is fed to an evaluation device which is part of a control device. This evaluation device essentially carries out a subtraction of the mass flow value of the carrier gas supplied by the first mass flow meter from the mass flow value supplied by the second mass flow meter, so that the net amount of the steam mass flow remains as output value. With this output value, a superordinate control device can control the steam feed, so that a carrier gas mixed steam generator supplies a constant steam mass flow. On the one hand, the steam generation rate can be influenced by the amount of aerosol generator fed into an evaporator. But the steam generation rate can also be influenced by a variation of the carrier gas flow or by a variation of the evaporation capacity of the evaporator, ie by its temperature. The carrier gas vapor mixture thus produced is fed to a coating device. This coating device has a process chamber into which the carrier gas vapor mixture is introduced by means of a heated gas inlet element. Reference is made in particular to the content of WO 2012/175124. With regard to the production of an aerosol and its evaporation and feeding into a process chamber, reference is also made to DE 10 2011 051 263 A1, the contents of which are fully incorporated into this application. The same applies to DE 10 2011 051 931 Al, which already discloses the fundamental principle of steam mass flow measurement.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen: The invention will be explained with reference to the accompanying drawings. Show it:
Fig. 1 schematisch ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung, 1 shows schematically a first embodiment of the invention,
Fig. 2 eine vergrößerte Darstellung eines erfindungsgemäßen Massen- flussmessers in einer Darstellung gemäß Figur 1, 2 is an enlarged view of a mass flow meter according to the invention in a representation according to Figure 1,
Fig. 3 einen Schnitt gemäß der Linie III - III durch einen erfindungsgemäßen Massenflussmesser, 3 shows a section along the line III - III through a mass flow meter according to the invention,
Fig. 4 einen Schnitt gemäß der Linie IV - 4 is a section along the line IV -
Fig. 5a den Temperaturverlauf in Strömungsrichtung durch den Abschnitt des Massenflussmessers in dem die Filamente 12, 13, 14 angeordnet sind, 5a shows the temperature profile in the flow direction through the section of the mass flow meter in which the filaments 12, 13, 14 are arranged,
Fig. 5b die Leistung die bei stillstehender Strömung in die Filamente 12, 13, 5b, the power in the stationary flow in the filaments 12, 13,
14 eingespeist werden muss, um die in der Figur 5a dargestellten Temperaturen zu halten, Fig. 5c die Leistungen PI', Ρ3', P4', die in die Filamente 12, 13, 14 eingespeist werden müssen, wenn durch den Massenflussmesser ein Gas strömt, um die in Figur 5a dargestellten Temperaturen zu erreichen, Fig. 6 eine Darstellung gemäß Fig. 4 eines weiteren Ausführungsbeispiels, Fig. 5c shows the powers PI ', Ρ3', P4 'which have to be fed into the filaments 12, 13, 14 when a gas flows through the mass flow meter to reach the temperatures shown in FIG. 5a, 6 shows a representation according to FIG. 4 of a further exemplary embodiment,
Fig. 7a eine Darstellung gemäß Fig. 5a des in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiels, 7a is a representation according to FIG. 5a of the embodiment shown in FIG. 4,
Fig. 7b eine Darstellung gemäß Fig. 5b, 7b is a representation according to FIG. 5b,
Fig. 7c eine Darstellung gemäß Fig. 5c. Fig. 7c is a representation according to FIG. 5c.
Die Figur 1 zeigt schematisch die wesentlichen Elemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Ein Trägergasstrom 1, bei dem es sich beispielsweise um Wasserstoff, Stickstoff oder ein Edelgas handeln kann, wird durch einen Trä- gergaseinspeisekanal 4 in einen ersten Massenflussmesser 5 eingespeist. Es kann sich dabei auch um einen Massenflussregler handeln. Mit dem Massenflussmesser 5 oder Massenflussregler wird in an sich bekannter Weise der Mas- senfluss des in den Trägergaseinspeisekanal 4 eingespeisten Trägergases 1 gemessen. Dieser Messwert Mi wird einer Aus Werteeinrichtung 11 zugeleitet. Es ist aber auch vorgesehen, dass der Träger gas ström 1 geregelt wird. Mi ist dann der Massenfluss, der durch den Massenflussregler 5 hindurchströmt. FIG. 1 shows schematically the essential elements of a device according to the invention. A carrier gas stream 1, which may be, for example, hydrogen, nitrogen or a noble gas, is fed through a carrier gas feed channel 4 into a first mass flow meter 5. It can also be a mass flow controller. With the mass flow meter 5 or mass flow controller, the mass flow of the carrier gas 1 fed into the carrier gas feed channel 4 is measured in a manner known per se. This measured value Mi is forwarded to an off-value device 11. But it is also envisaged that the carrier gas flow 1 is regulated. Mi is then the mass flow that flows through the mass flow controller 5.
Der Massenfluss des Trägergases 1 strömt durch einen Strömungskanal 6, 6', 6" zu einem zweiten Massenflussmesser 8. Dazwischen wird mittels einer Dampfeinspeisung 7 der Dampf eines flüssigen oder eines festen Ausgangsstoffes in den Strömungskanal 6 eingespeist. Ein Ausgangsstoff 3 wird beispielsweise über einen Aerosolerzeuger 34 in ein Aerosol gewandelt. Dem Aerosol wird Wärme zugeführt, so dass es in Dampf gewandelt wird. Zur Dampferzeugung kann beispielsweise eine Vorrichtung verwendet werden, wie sie die DE 10 2011 051 263 AI beschreibt. In der Figur 1 ist ein Vorratsbehälter 32 dargestellt, aus dem mit einer Förderschnecke 33 ein Pulver in einen Aerosolerzeuger 34 gefördert wird. In den Aerosolerzeuger 34 tritt der durch den Strömungskanal 6 strömende Träger gas ström ein. In den Trägergasstrom wird der pulverförmige feste Ausgangsstoff 3 injiziert. Das Aerosol wird über den Strömungskanal 6' zu einem Verdampfer 35 transportiert. Der Verdampfer kann von einem Festkörperschaum ausgebildet sein. Es handelt sich dabei um einen elektrisch leitenden Festkörper, durch dessen Schaumporen das Festkörperträgergasgemisch in den Schaum eintreten kann. Durch Durchleiten eines elektrischen Stroms wird der Verdampfer 35 auf eine Verdampfungstemperatur aufgeheizt, so dass die Festkörperbestandteile des Aerosols verdampfen. Durch einen weiterenThe mass flow of the carrier gas 1 flows through a flow channel 6, 6 ', 6 "to a second mass flow meter 8. In between, the vapor of a liquid or a solid starting material is fed into the flow channel 6 by means of a steam feed 7. A starting material 3 is, for example, via an aerosol generator 34 is converted into an aerosol, heat is supplied to the aerosol so that it is converted into steam For example, a device can be used to generate steam, as described in DE 10 2011 051 263 A1. from which with a screw conveyor 33, a powder is conveyed into an aerosol generator 34. In the aerosol generator 34, the carrier flowing through the flow channel 6 enters gas flow. The pulverulent solid starting material 3 is injected into the carrier gas stream. The aerosol is transported via the flow channel 6 'to an evaporator 35. The evaporator may be formed by a solid state foam. It is an electrically conductive solid, through the foam pores of the solid carrier gas mixture can enter the foam. By passing an electrical current, the evaporator 35 is heated to an evaporation temperature, so that the solid constituents of the aerosol evaporate. By another
Strömungskanal 6" tritt dann das Trägergas 1 mit dem von ihm transportierten Dampf 2. Flow channel 6 "then enters the carrier gas 1 with the transported by him steam. 2
Innerhalb des Strömungskanals 6, 6', 6" findet somit eine Dampferzeugung statt. Das Trägergasdampf gemisch wird zu dem besagten zweiten Massen- flussmesser 8 transportiert, in dem sich eine Massenflussmessanordnung bestehend aus drei Filamenten 12, 13, 14 befindet. Die drei Filamente 12, 13, 14 sind in Strömungsrichtung hintereinander angeordnet. Die Filamente 12, 13, 14 haben eine linienartige Anordnung und liegen parallel zueinander. Steam generation thus takes place within the flow channel 6, 6 ', 6 "The carrier gas vapor mixture is transported to the said second mass flow meter 8, in which there is a mass flow measuring arrangement consisting of three filaments 12, 13, 14. The three filaments 12 , 13, 14 are arranged one behind the other in the flow direction The filaments 12, 13, 14 have a line-like arrangement and lie parallel to one another.
Es ist ein Tragkörper 20 vorgesehen, um die Filamente 12, 13, 14 ortsfest zu halten. Dabei werden die Filamente 12, 13, 14 lediglich an ihren beiden Enden gehalten, so dass von den Filamenten eine minimale Wärmeübertragung zu dem von einem Festkörper 20 gebildeten Tragkörper gegeben ist. It is a support body 20 is provided to hold the filaments 12, 13, 14 stationary. In this case, the filaments 12, 13, 14 are held only at their two ends, so that a minimal heat transfer is given to the filaments formed by a solid body 20 of the filaments.
Der Tragkörper 20 ist ein Festkörperschaum 20. Er bildet eine Ausnehmung 23 aus, in der die Filamente 12, 13, 14 angeordnet sind. Die Filamente bestehen jeweils aus einer Wendel, wie sie in handelsüblichen Glühlampen verwendet werden. Die Wendeln bestehen aus Wolfram, sind aber mit einer Keramikmasse 27 umgeben. Dieser Keramikmantel isoliert die aus Metall bestehende Wendel gegenüber dem Gasstrom. Mit dieser Keramikmasse sind auch die beiden voneinander wegweisenden Enden der Filamente mit dem Rand des Tragkörpers 20 verbunden. The support body 20 is a solid-state foam 20. It forms a recess 23 in which the filaments 12, 13, 14 are arranged. The filaments each consist of a helix, as used in commercial incandescent lamps become. The coils are made of tungsten, but are surrounded with a ceramic mass 27. This ceramic jacket isolates the metal coil from the gas flow. With this ceramic composition, the two ends of the filaments facing away from one another are also connected to the edge of the support body 20.
Die Filamente 12, 13, 14 sind voneinander beabstandet, sie berühren sich nicht. Sie berühren auch nicht die Seitenwandung der Ausnehmung 23. Sie sind lediglich mit ihren beiden Enden an der Ummantelung 26' des Tragkörpers 20 befes- tigt. The filaments 12, 13, 14 are spaced apart, they do not touch. They also do not touch the side wall of the recess 23. They are merely fastened with their two ends to the casing 26 'of the support body 20.
Die Filamente sind aber derart dicht nebeneinander angeordnet, dass sie miteinander in Wärmeübertragungskontakt stehen. Die Wärmeübertragung findet durch Wärmeleitung durch das durch den Strömungskanal 6 transportierte Gas statt. Das Gas hat vorzugsweise einen Totaldruck zwischen 1 und 10 mbar. Die Wärmeübertragung zum Tragkörper 20 an den Befestigungsstellen ist demgegenüber minimal. However, the filaments are arranged so close together that they are in heat transfer contact with each other. The heat transfer takes place by heat conduction through the gas transported through the flow channel 6. The gas preferably has a total pressure between 1 and 10 mbar. The heat transfer to the support body 20 at the attachment points is minimal on the other hand.
Jedes der drei Filamente 12, 13, 14 wird mit einer individuellen Steuer-/ Regel- einrichtung 16, 17, 18 auf einer konstanten Temperatur Ti, T2, T3 gehalten. Die diesbezüglichen Temperaturen sind in der Figur 5a bezeichnet. Mit Tc ist die Kondensations temper atur des Dampfes gekennzeichnet. Es ist ersichtlich, dass die Temperaturen Ti, T2, T3 der Filamente 12, 13, 14 höher liegt als die Kondensationstemperatur. Each of the three filaments 12, 13, 14 is maintained at a constant temperature Ti, T 2 , T 3 with an individual control device 16, 17, 18. The relevant temperatures are indicated in FIG. 5a. Tc indicates the condensation temperature of the vapor. It can be seen that the temperatures Ti, T 2 , T 3 of the filaments 12, 13, 14 are higher than the condensation temperature.
Stromabwärts der drei Filamente 12, 13, 14 befindet sich ein weiteres Filament 15 in einer eigenen Aussparung, das mit einer Steuereinrichtung 19 auf einer konstanten Temperatur T4 gehalten wird. Mit diesem Filament 15 kann die Gas- temperatur gemessen werden. Das Filament 15 ist so weit von den anderen Filamenten 12, 13, 14 entfernt, dass es von deren Temperatur nahezu nicht beein- flusst wird. In einer nicht dargestellten Variante ist das Filament 15 stromaufwärts der drei Filamente 12, 13, 14 angeordnet. Downstream of the three filaments 12, 13, 14 is another filament 15 in its own recess, which is held by a control device 19 at a constant temperature T 4 . With this filament 15, the gas temperature are measured. The filament 15 is so far removed from the other filaments 12, 13, 14 that it is almost unaffected by its temperature. In a variant, not shown, the filament 15 upstream of the three filaments 12, 13, 14 is arranged.
Der erste Tragkörper 20 steckt in einem zweiten Tragkörper 22, der dem ersten Tragkörper in einer Zentrallage innerhalb des Durchströmungsquerschnitts eines Rohres 21 hält, durch das der Gasstrom hindurchströmt. Der zweite Tragkörper kann ebenfalls aus einem Festkörperschaum bestehen. Die Porenweite des ersten Festkörperschaums ist geringer als die Porenweite des zweiten Festkörperschaums. Der äußere Tragkörper 22 steckt formausfüllend im Querschnitt des Rohres 21, durch welches der Gasstrom hindurchtritt. Er besitzt einen Schacht 30, in den der innere Tragkörper 20 hineingesteckt ist. Die Zuleitungen 29 zu den Filamenten 12, 13, 14 erfolgt durch den Schacht 30 hindurch. The first support body 20 is inserted in a second support body 22, which holds the first support body in a central position within the flow cross-section of a tube 21 through which the gas flow passes. The second support body may also consist of a solid state foam. The pore width of the first solid-state foam is less than the pore width of the second solid-state foam. The outer support body 22 is form filling in the cross section of the tube 21, through which the gas flow passes. He has a shaft 30, in which the inner support body 20 is inserted. The leads 29 to the filaments 12, 13, 14 are made through the shaft 30 therethrough.
Die Ausnehmung 23, in der sich die drei Filamente 12, 13, 14 befinden ist lediglich in Strömungsrichtung durchlässig. Quer zur Strömungsrichtung besitzt die Ausnehmung 23 eine in Umfangsrichtung geschlossene Wandung 26, 26'. Die Wandung 26, 26' kann aus keramischem Material bestehen, beispielsweise aus Glimmerplatten. The recess 23 in which the three filaments 12, 13, 14 are located is permeable only in the flow direction. Transverse to the flow direction, the recess 23 has a circumferentially closed wall 26, 26 '. The wall 26, 26 'may consist of ceramic material, for example mica plates.
Die Figur 5b zeigt die Leistungen Pi, P2, P3 die erforderlich sind, um bei einer stillstehenden Strömung durch das Rohr 21 also durch den Massenflussmesser 8 die Filamente 12, 13, 14 auf den Temperaturen Ti, T2, T3 zu halten. Dabei ist die Temperatur Ti des in Strömungsrichtung ersten Filaments geringer als die Temperatur T2 des in Strömungsrichtung zweiten Filaments 13. Die Temperatur T3 des in Strömungsrichtung dritten Filaments 14 ist wiederum geringer als die Temperatur T2 des mittleren Filaments. Die Temperaturen Ti und T2 können etwa gleich groß sein. FIG. 5b shows the powers Pi, P 2 , P 3 which are required in order to keep the filaments 12, 13, 14 at the temperatures Ti, T 2 , T 3 during a stationary flow through the tube 21, that is, through the mass flow meter 8 , In this case, the temperature Ti of the first filament in the flow direction is lower than the temperature T 2 of the second filament 13 in the direction of flow. The temperature T 3 of the third filament 14 in the flow direction is again lower than that Temperature T 2 of the middle filament. The temperatures Ti and T 2 can be about the same size.
Figur 5b ist auch zu entnehmen, dass die Leistung, die in das mittlere Filament 13 eingespeist werden muss, um es auf der Temperatur T2 zu halten größer ist als die Leistungen Pi und P3, die erforderlich sind, um die Filamente 12 oder 14 auf den Temperaturen Ti bzw. T3 zu halten. Die Leistungen Pi und P3 sind im Ausführungsbeispiel etwa gleich groß. Sie können aber verschieden sein, da sich die Filamente toleranzbedingt voneinander unterscheiden. It can also be seen from FIG. 5b that the power which has to be fed into the central filament 13 in order to maintain it at the temperature T 2 is greater than the powers P 1 and P 3 required for the filaments 12 or 14 to keep at the temperatures Ti and T 3 . The services Pi and P 3 are about the same size in the embodiment. But they can be different, because the filaments differ from each other for tolerance reasons.
Die Figur 5c zeigt die Leistungen Ρι', Ρ2', P3', die erforderlich sind, um die Filamente 12, 13, 14 auf den Temperaturen Ti, T2, T3 zu halten, wenn ein Gasstrom durch den Massenflussmesser 8 hindurchströmt. Es ist ersichtlich, dass sich die Leistungen, die in die Filamente 12 und 14 eingespeist werden müssen um ein größeres Δρ unterscheiden als es bei stillstehender Strömung (Figur 5b) der Fall ist. Die Temperatur Ti, T2, T3 der Filamente 12, 13, 14 wird über den Widerstand der Filamente bestimmt. FIG. 5c shows the powers Ρι ', Ρ 2 ', P 3 'which are required to keep the filaments 12, 13, 14 at the temperatures Ti, T 2 , T 3 when a gas stream flows through the mass flow meter 8 , It can be seen that the powers which have to be fed into the filaments 12 and 14 differ by a larger Δρ than in the case of a stationary flow (FIG. 5 b). The temperature Ti, T 2 , T 3 of the filaments 12, 13, 14 is determined by the resistance of the filaments.
Der Abstand Xi, mit dem die Filamente 12, 13 voneinander beabstandet sind, ist in etwa gleich groß wie der Abstand X2, mit dem die beiden Filamente 13 und 14 voneinander beabstandet sind. Diese Abstände liegen in der Größenordnung der Durchmesser der Keramikmäntel 27, damit sichergestellt ist, dass sich die Filamente 12, 13, 14 auch bei stillstehender Strömung und Gasdrucken im Mil- libar-Bereich thermisch beeinflussen. Hierzu liegen die Filamente 12, 13, 14 auch in einer Parallellage zueinander. Der Abstand X3, mit dem das Filament 15 vom Filament 14 beabstandet ist, ist wesentlich größer als die Abstände Xi und X2. Der Abstand X3 ist so groß, dass die Filamente 12, 13, 14 das Filament 15 thermisch nicht beeinflussen. Hierzu ist es auch förderlich, dass sich zwischen der Ausnehmung zur Aufnahme der Filamente 12, 13, 14 und der Ausnehmung 31 zur Aufnahme des Filaments 15 ein Abschnitt aus porösem Material des Festkörpers 20 befindet. Mit den Regeleinrichtungen 16, 17, 18 wird eine variable elektrische Leistung Pi, P2, P3 in die Filamente 12, 13, 14 eingespeist. Die Leistung Pi, P2, P3 sind so bemessen, dass die Temperaturen Ti, T2, T3 der Filamente auf einem konstanten Wert gehalten sind. Eine Gasdurchströmung durch den von der Ummantelung 26, 26' gebildeten Strömungskanals hat ein Wärmeabtransport von den Fila- menten 12, 13, 14 zur Folge, so dass insgesamt eine größere Leistung Pi, P2, P3 in die Filamente 12, 13, 14 eingespeist werden muss. Da sich einhergehend damit auch das Isothermenfeld um die Filamente 12, 13, 14 ändert und jedes Filament 12, 13, 14 im Isothermenfeld des jeweils benachbarten Filaments 12, 13, 14 liegt, kann mit den strömungsbedingt geänderten Einspeiseleistungen Pi, P2, P3 der Massenfluss bestimmt werden. Der diesbezügliche Wert M2 wird der Auswerteeinrichtung 11 zugeführt. Diese Auswerteeinrichtung bildet die Differenz zwischen dem Massenflusswert M2 und einem Massenfluss wert Mi, den der erste Massenflussmesser 5 liefert, so dass das Ausgangssignal A der Nettomas- senfluss des Dampfes 10 ist, der die gesamte Messanordnung durch den Aus- trittskanal 9 verlässt und der durch eine nicht dargestellte weitere Strömungsleitung in eine Prozesskammer eingespeist wird, wie es grundsätzlich aus der DE 10 2011 051 931 AI vorbekannt ist, aus der das Trägergas wieder herausströmt in eine Vakuumpumpe, mit deren Pumpleistung der Totaldruck zumindest innerhalb des Strömungskanals 6", in dem das Trägergasdampfgemisch transportiert wird, im Niedrigdruckbereich hält. Durch die Messung der Temperatur TG des Trägergases mittels des Filaments 15, welches bevorzugt stromabwärts der Filamente 12, 13, 14 angeordnet ist, lässt sich die Genauigkeit des Messwertes M2 verbessern. Die Fig. 6 zeigt eine Darstellung gemäß Fig. 4 eines weiteren Ausführungsbeispiels, bei dem in der Ausnehmung 23 des Tragkörpers 20 insgesamt fünf Filamente 12', 12, 13, 14, 14' angeordnet sind. Das Diagramm Fig. 7 zeigt die Temperatur dieser Filamente. In Ergänzung zu dem in der Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel sitzt stromaufwärts des Filamentes 12 ein weiteres Filament 12', welches von einer Regeleinrichtung 16' auf einer konstanten Temperatur gehalten wird. Hierzu wird die Leistung P4 in das Filament 12' eingespeist. The distance Xi, with which the filaments 12, 13 are spaced apart, is approximately the same size as the distance X 2 , with which the two filaments 13 and 14 are spaced from each other. These distances are on the order of the diameters of the ceramic sheaths 27, in order to ensure that the filaments 12, 13, 14 thermally influence each other even when the flow is at a standstill and gas pressures in the millibar range. For this purpose, the filaments 12, 13, 14 are also in a parallel position to each other. The distance X 3 , with which the filament 15 is spaced from the filament 14, is substantially greater than the distances Xi and X 2 . The distance X 3 is so great that the filaments 12, 13, 14 thermally do not affect the filament 15. For this it is also beneficial that between the recess for receiving the filaments 12, 13, 14 and the recess 31 for receiving the filament 15, a portion of porous material of the solid 20 is located. With the control devices 16, 17, 18, a variable electrical power Pi, P 2 , P 3 is fed into the filaments 12, 13, 14. The power Pi, P 2 , P 3 are so dimensioned that the temperatures Ti, T 2 , T 3 of the filaments are kept at a constant value. A gas flow through the flow channel formed by the jacket 26, 26 'results in heat removal from the filaments 12, 13, 14, so that overall a greater power Pi, P 2 , P 3 into the filaments 12, 13, 14 must be fed. Since this also changes the isothermal field around the filaments 12, 13, 14 and each filament 12, 13, 14 is in the isothermal field of each adjacent filament 12, 13, 14, can with the flow conditionally modified feed Pi, P 2 , P 3rd the mass flow can be determined. The relevant value M 2 is supplied to the evaluation device 11. This evaluation device forms the difference between the mass flow value M 2 and a mass flow value Mi, which the first mass flow meter 5 supplies, so that the output signal A is the net mass flow of the steam 10, which leaves the entire measuring arrangement through the outlet channel 9 and is fed by a further flow line, not shown, into a process chamber, as is basically known from DE 10 2011 051 931 A1, from which the carrier gas flows out again into a vacuum pump, with the pumping power of which the total pressure at least within the flow channel 6 ", in which the carrier gas vapor mixture is transported, keeps in the low pressure range. By measuring the temperature TG of the carrier gas by means of the filament 15, which is preferably arranged downstream of the filaments 12, 13, 14, the accuracy of the measured value M 2 can be improved. FIG. 6 shows a representation according to FIG. 4 of a further exemplary embodiment, in which a total of five filaments 12 ', 12, 13, 14, 14' are arranged in the recess 23 of the support body 20. The diagram Fig. 7 shows the temperature of these filaments. In addition to the embodiment shown in FIG. 4, another filament 12 ', which is held at a constant temperature by a control device 16', is located upstream of the filament 12. For this purpose, the power P 4 is fed into the filament 12 '.
Stromabwärts des Filamentes 14 ist ein weiteres Filament 14' angeordnet, welches von einer Regeleinrichtung 18' mit Leistung P6 versorgt wird, um das Fi- lament 14' auf einer Temperatur T6 zu halten. Downstream of the filament 14, a further filament 14 'is arranged, which is supplied by a control device 18' with power P 6 , in order to keep the filament 14 'at a temperature T 6 .
Der Fig. 7a ist zu entnehmen, dass das in der Mitte angeordnete Filament 13 auf der höchsten Temperatur T2 gehalten wird. Die diesem Filament 13 unmittelbar benachbart liegenden Filamente 12 und 14 werden auf den Temperaturen Ti bzw. T3 gehalten, die niedriger sind als die Temperatur T2. Die beiden ergänzenden Filamente 12', 14' werden auf den Temperaturen Ts bzw. T6 gehalten. Die beiden Temperaturen Ts und T6 sind niedriger als die Temperaturen Ti bzw. T3 der benachbarten Filamente 12, 14. Die Filamente 12' und 14' sind derart dicht neben ihnen unmittelbar benachbarten Filamenten 12 bzw. 14 ange- ordnet, dass die Filamente 12' und 12 bzw. 14 und 14' sich wärmeenergetisch beeinflussen, was bedeutet, dass durch das Gas Wärme vom Filament 12' an das Filament 12 bzw. vom Filament 12 an das Filament 12' übertragen wird bzw. Wärme vom Filament 14 an das Filament 14' bzw. vom Filament 14' auf das Fi- lament 14 übertragen wird. Bei ruhendem Gas ist der Wärmetransportmechanismus Wärmeleitung durch das Träger gas, bei dem es sich um Wasserstoff, Stickstoff, Helium, Argon oder um ein anderes Edelgas handeln kann, Wärmeleitung durch das Gas hindurch. Bei sich in Strömung befindlichem Trägergas ist der Wärmetransport zusätzlich Konvektion. Der Totalgasdruck ist kleiner als 10 mbar. Da die zu äußerst liegenden Filamente 12', 14' die niedrigsten Temperaturen besitzen, also die Temperatur Ti des Filamentes 12 höher ist als die Temperatur Ts des Filaments 12 bzw. die Temperatur T3 des Filamentes 14 höher ist als die Temperatur T6 des Filamentes 14', findet ein Wärmetransport im Wege der Wärmeleitung vom Filament 12 zum Filament 12' bzw. vom Filament 14 zum Filament 14' statt. It can be seen from FIG. 7a that the filament 13 arranged in the middle is held at the highest temperature T 2 . The filaments 12 and 14 immediately adjacent to this filament 13 are maintained at the temperatures Ti and T 3 , respectively, which are lower than the temperature T 2 . The two supplementary filaments 12 ', 14' are kept at the temperatures Ts and T 6 , respectively. The two temperatures Ts and T 6 are lower than the temperatures Ti and T 3 of the adjacent filaments 12, 14. The filaments 12 'and 14' are arranged so close to them immediately adjacent filaments 12 and 14 that the filaments 12 'and 12 and 14 and 14', respectively, heat-energetically influence, which means that heat is transferred from the filament 12 'to the filament 12 or from the filament 12 to the filament 12' by the gas or heat from the filament 14 to the Filament 14 'or filament 14' onto the filament. lament 14 is transferred. With dormant gas, the heat transport mechanism is heat conduction through the carrier gas, which may be hydrogen, nitrogen, helium, argon or another noble gas, heat conduction through the gas. With carrier gas in flow, the heat transfer is additionally convection. The total gas pressure is less than 10 mbar. Since the overlying filaments 12 ', 14' have the lowest temperatures, that is, the temperature Ti of the filament 12 is higher than the temperature Ts of the filament 12 and the temperature T 3 of the filament 14 is higher than the temperature T 6 of the filament 14 ', a heat transport takes place by way of heat conduction from the filament 12 to the filament 12' or from the filament 14 to the filament 14 '.
Die Fig. 7b zeigt den Betriebszustand, bei dem kein Gas durch den Massen- flussmesser hindurch fließt. In diesem Fall sind die Leistungen Ps und P6, die notwendig sind, um die Filamente 12', 14' auf den Temperaturen Ts bzw. T6 zu halten, etwa gleich groß, da die Temperaturen Ts und T6 ebenfalls etwa gleich groß sind. Die Leistung Pi bzw. P3, um die Sensoren 12 bzw. 14 auf den Temperaturen Ti bzw. T3 zu halten, ist größer. Im Ausführungsbeispiel sind diese Leistungen auch etwa gleich groß, weil die Temperaturen Ti und T3 gleich sind. Die größte Leistung P2 ist aufzubringen, um das mittlere Filament T3 auf die höchste Temperatur T2 zu heizen. FIG. 7b shows the operating state in which no gas flows through the mass flow meter. In this case, the powers Ps and P 6 , which are necessary to keep the filaments 12 ', 14' at the temperatures Ts and T 6 , about the same size, since the temperatures Ts and T 6 are also about the same size , The power Pi or P 3 , in order to keep the sensors 12 and 14 at the temperatures Ti and T 3 , is greater. In the exemplary embodiment, these powers are also about the same size, because the temperatures Ti and T 3 are the same. The greatest power P 2 is applied to heat the middle filament T 3 to the highest temperature T 2 .
Fließt ein Gas in Stromrichtung, also in den grafischen Darstellungen von links nach rechts durch den Massenflussmesser, wird Wärme von links nach rechts übertragen. Dies hat zur Folge, dass eine größere Wärme P's erforderlich ist, um das Filament 12' auf der Temperatur Ts zu halten. Entsprechendes gilt für das Filament 12 und die zur Temperaturerhaltung erforderliche Leistung P'2. Die Leistung P'3 ist hingegen geringer als die Leistung P3, die erforderlich ist, um das Filament 14 auf der Temperatur T3 zu halten. Die Leistung P'6 ist ebenfalls geringer als die Leistung P6, die erforderlich ist, um das Filament 14' auf der Temperatur T6 zu halten. Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils eigenständig weiterbilden, nämlich: If a gas flows in the direction of flow, ie in the diagrams from left to right through the mass flow meter, heat is transferred from left to right. As a result, a larger heat P's is required to keep the filament 12 'at the temperature Ts. The same applies to the filament 12 and the power P ' 2 required for maintaining the temperature. The power P ' 3 , however, is less than the power P 3 required to to keep the filament 14 at the temperature T 3 . The power P ' 6 is also less than the power P 6 required to maintain the filament 14' at the temperature T 6 . The above explanations serve to explain the inventions as a whole, which independently develop the state of the art by the following combinations of features, namely:
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Steuereinrichtung (16, 17, 18) so eingerichtet ist, dass die Temperatur (Ti, T2, T3) jedes Filaments (12, 13, 14) durch Wahl einer in das jeweilige Filament (12, 13, 14) eingespeisten elektrischen Leistung (Pi, P2, P3) auf einem vorgegeben Wert gehalten wird und der Ausgangswert (A) aus dem Wert der jeweils in die Filamente (12, 13, 14) eingespeisten Leistungen (Pi, P2, P3) ermittelt wird. A device, characterized in that the control means (16, 17, 18) is arranged so that the temperature (Ti, T 2 , T 3 ) of each filament (12, 13, 14) by selecting one in the respective filament (12, 13, 14) supplied electric power (Pi, P 2 , P 3 ) is maintained at a predetermined value and the output value (A) from the value of each of the filaments (12, 13, 14) fed power (Pi , P 2 , P 3 ) is determined.
Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Temperatur (Ti, T2, T3) jedes Filaments (12, 13, 14) durch Wahl einer in das jeweilige Filament (12, 13, 14) eingespeisten Leistung (Pi, P2, P3) auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird und der Ausgangswert (A) aus den Werten der jeweils in die Filamente (12, 13, 14) eingespeisten Leistungen (Pi, P2, P3) ermittelt wird. A method which is characterized in that the temperature (Ti, T 2 , T 3 ) of each filament (12, 13, 14) is selected by selecting a power (Pi, P 2 ) fed into the respective filament (12, 13, 14) , P 3 ) is kept at a predetermined value and the output value (A) is determined from the values of the respective powers (Pi, P 2 , P 3 ) fed into the filaments (12, 13, 14).
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Steuereinrichtung (16, 17, 18) so eingerichtet ist, dass die Temperatur (Ti, T2, T3) jedes Filaments (12, 13, 14) durch Wahl einer in das jeweilige Filament (12, 13, 14) eingespeisten elektrischen Leistung (Pi, P2, P3) auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird und der Massenfluss aus den Werten der jeweils in die Filamente (12, 13, 14) eingespeisten Leistung (Pi, P2, P3) ermittelt wird. Vorrichtung oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung für jedes Filament (12, 13, 14) eine eigene Regeleinrichtung (16, 17, 18) aufweist, mit der das Filament (12, 13, 14) auf der vorgegebenen Temperatur (Ti, T2, T3) geregelt wird. A device, characterized in that the control means (16, 17, 18) is arranged so that the temperature (Ti, T 2 , T 3 ) of each filament (12, 13, 14) by selecting one in the respective filament (12, 13, 14) supplied electric power (Pi, P 2 , P 3 ) is maintained at a predetermined value and the mass flow of the values of each of the filaments (12, 13, 14) fed power (Pi, P 2 , P 3 ) is determined. Device or method according to one of the preceding claims, characterized in that the control device for each filament (12, 13, 14) has its own control device (16, 17, 18), with which the filament (12, 13, 14) on the predetermined temperature (Ti, T 2 , T 3 ) is regulated.
Eine Vorrichtung oder ein Verfahren, die dadurch gekennzeichnet sind, dass ein stromaufwärtiges erstes Filament (12) auf einer ersten Temperatur (Ti) gehalten wird, die kleiner ist als eine Temperatur (T2), auf die ein zweites stromabwärts des ersten Filament (12) angeordnetes Filament (13) gehalten ist, und dass ein drittes Filament (14), das auf einer dritten Temperatur (T3) gehalten ist, die kleiner ist als die Temperatur (T2), auf der das zweite Filament (13) gehalten ist, zumindest abschnittsweise stromabwärts des zweiten Filaments (13) angeordnet ist. Eine Vorrichtung oder ein Verfahren, die dadurch gekennzeichnet sind, dass die Temperaturen (Ti, T2, T3) auf die die Filamente (12, 13, 14) gehalten werden, geringer sind als die Zerlegungstemperatur des Dampfes (2). An apparatus or method characterized in that an upstream first filament (12) is maintained at a first temperature (Ti) which is less than a temperature (T 2 ) to which a second downstream of the first filament (12) ) and that a third filament (14) held at a third temperature (T 3 ) is smaller than the temperature (T 2 ) on which the second filament (13) is held is at least partially downstream of the second filament (13) is arranged. An apparatus or method characterized in that the temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) on which the filaments (12, 13, 14) are held are less than the decomposition temperature of the vapor (2).
Eine Vorrichtung oder ein Verfahren, die dadurch gekennzeichnet sind, dass dem ersten Massenf lussmesser/ -regier (5) ein Trägergaseinspeisekanal (4) vorgeordnet ist, zwischen Dampfeinspeisung (7) und zweiten Massenflussmesser (8) ein weiterer Strömungskanal (6") und stromabwärts des zweiten Massen- flussmessers (8) ein Austrittskanal (9) angeordnet ist, wobei die Kanäle (4, 6, 6', 6", 9) auf einer Temperatur gehalten werden, die geringer ist als die Tempera- turen (Ti, T2, T3) der Filamente (12, 13, 14) aber größer ist als die Kondensationstemperatur des Dampfes (2). Eine Vorrichtung, die gekennzeichnet ist durch einen Temperaturmesssensor (15) zur Bestimmung der Temperatur der Mischung aus Trägergas (1) und Dampf (2). Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass mindestens drei, bevorzugt mindestens vier oder fünf Filamente (12', 12, 13, 14, 14') in Strömungsrichtung hintereinander angeordnet sind, wobei zwei benachbarte Filamente wärmeenergetisch aneinander gekoppelt sind. Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Filamente (12, 13, 14, 15) in einem gasdurchlässigen ersten Tragkörper (20) insbesondere einem ersten Schaumkörper angeordnet sind. A device or a method characterized in that a carrier gas feed channel (4) is arranged upstream of the first mass flow meter / regulator (5), between vapor feed (7) and second mass flow meter (8) another flow channel (6 ") and downstream of the second mass flow meter (8) an outlet channel (9) is arranged, wherein the channels (4, 6, 6 ', 6 ", 9) are kept at a temperature which is lower than the temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) of the filaments (12, 13, 14) but is greater than the condensation temperature of the vapor (2). A device characterized by a temperature measuring sensor (15) for determining the temperature of the mixture of carrier gas (1) and steam (2). A device, which is characterized in that at least three, preferably at least four or five filaments (12 ', 12, 13, 14, 14') are arranged one behind the other in the direction of flow, wherein two adjacent filaments are coupled to each other in terms of thermal energy. A device which is characterized in that the filaments (12, 13, 14, 15) are arranged in a gas-permeable first support body (20), in particular a first foam body.
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der erste Tragkörper (20) in einem zweiten Tragkörper, insbesondere einem zweiten Schaumkörper (22) steckt. A device, which is characterized in that the first support body (20) in a second support body, in particular a second foam body (22) inserted.
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Poren des ersten Schaumkörpers (20) kleiner sind als die Poren des zweiten Schaumkörpers (22). A device which is characterized in that the pores of the first foam body (20) are smaller than the pores of the second foam body (22).
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der erste Schaumkörper (20) zwei voneinander wegweisende Stirnseiten (24, 25) besitzt und eine an die Stirnseiten (24, 25) angrenzende Umfangsfläche (26, 26'), wobei durch eine erste Stirnfläche (24) ein Gasstrom in den Schaumkörper (20) hereintritt und aus ei- ner gegenüberliegenden zweiten Stirnfläche (25) der Gasstrom aus dem A device, characterized in that the first foam body (20) has two end faces (24, 25) pointing away from one another and a peripheral surface (26, 26 ') adjoining the end faces (24, 25), wherein 24) enters a gas stream in the foam body (20) and from an opposite second end face (25) of the gas stream from the
Schaumkörper (20) heraustreten kann und die Umfangsfläche (26, 26') zwischen den beiden Stirnflächen (24, 25) gasdicht versiegelt ist. Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Filamente (12, 13, 14, 15) die Form einer Helix aufweisen und sich frei zwischen zwei sich gegenüberliegenden Mantelwandabschnitten der Tragkörper erstrecken und/ oder dass die Filamente (12, 13, 14, 15) mit einem Keramikmaterial (27) ummantelt sind. Foam body (20) can emerge and the peripheral surface (26, 26 ') between the two end faces (24, 25) is sealed gas-tight. A device which is characterized in that the filaments (12, 13, 14, 15) have the shape of a helix and extend freely between two mutually opposite jacket wall sections of the support bodies and / or that the filaments (12, 13, 14, 15 ) are coated with a ceramic material (27).
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Schaumkörper (22) eine Ausnehmung (23) aufweist, in der die drei Filamente (12, 13, 14) einliegen. Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Schaumkörper eine zweite Ausnehmung (31) aufweist, in der ein Temperaturmessfilament (15) angeordnet ist. A device which is characterized in that the foam body (22) has a recess (23) in which the three filaments (12, 13, 14) are inserted. A device which is characterized in that the foam body has a second recess (31) in which a temperature measuring filament (15) is arranged.
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Filamente (12, 13, 14) derart thermisch vom Tragkörper (20) entkoppelt sind und dicht nebeneinander angeordnet sind, dass bei einem Totaldruck im Bereich von 1 bis 10 mbar der Wärmetransport vom heißeren Filament (13) zum kühleren Filament (12, 14) im Wesentlichen Wärmeleitung durch das Gas ist. Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Abstand der Filamente (12, 13, 14) und deren Temperatur (Ti, T3) so gewählt ist, dass sich die Temperaturen (Ti, T2, T3) der Filamente gegenseitig beeinflussen. A device, which is characterized in that the filaments (12, 13, 14) are thermally decoupled from the support body (20) and are arranged close to one another, that at a total pressure in the range of 1 to 10 mbar, the heat transfer from the hotter filament ( 13) to the cooler filament (12, 14) is substantially heat conduction through the gas. A device, characterized in that the spacing of the filaments (12, 13, 14) and their temperature (Ti, T 3 ) is selected such that the temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) of the filaments influence one another ,
Alle offenbarten Merkmale sind (für sich) erfindungswesentlich. In die Offen- barung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen. All disclosed features are essential to the invention. The disclosure content of the associated / attached priority documents (copy of the prior application) is hereby also incorporated in full in the disclosure of the application, also for the purpose of including features of these documents in claims of the present application. The dependent claims Characterize with their characteristics independent inventive developments of the prior art, in particular to make on the basis of these claims divisional applications.
Bezugszeichenliste LIST OF REFERENCE NUMBERS
1 Trägergas 24 Stirnseite 1 carrier gas 24 front side
2 Dampf 25 Stirnseite  2 steam 25 front side
3 Ausgangsstoff 26 Mantelwand  3 starting material 26 shell wall
4 Trägergaseinspeisekanal 26' Mantelwand  4 Trägergaseinspeisekanal 26 'shell wall
5 erster Massenflussmesser 27 Keramikmantel 5 first mass flow meter 27 ceramic jacket
6 Strömungskanal 28 Befestigungspunkt6 flow channel 28 attachment point
6' Strömungskanal 29 Zuleitung 6 'flow channel 29 supply line
6" Strömungskanal 30 Schacht  6 "flow channel 30 shaft
7 Dampfeinspeisung 31 zweite Ausnehmung 7 steam feed 31 second recess
8 zweiter Massenflussmesser 32 Vorratsbehälter8 second mass flow meter 32 reservoir
9 Austrittskanal 33 Förderschnecke9 outlet channel 33 screw conveyor
10 Trägergas-Dampf-Gemisch 34 Aerosolerzeuger10 Carrier gas-vapor mixture 34 Aerosol generator
11 Auswerteeinrichtung 35 Verdampfer 11 evaluation device 35 evaporator
12 Filament  12 filament
13 Filament A Ausgabewert 13 filament A output value
14 Filament Mi Messwert 14 filament Mi reading
15 Filament/ Temperaturmesssensor M2 Messwert 15 filament / temperature measuring sensor M 2 measured value
16 Regeleinrichtung Pi Leistung  16 control device Pi power
17 Regeleinrichtung P2 Leistung 17 Control device P 2 power
18 Regeleinrichtung P3 Leistung 18 control device P 3 power
19 Regeleinrichtung Pi' Leistung  19 control device Pi 'performance
20 erster Tragkörper P2' Leistung 20 first supporting body P 2 'power
21 Rohr P3' Leistung 21 pipe P 3 'power
22 zweiter Tragkörper Ti Temperatur  22 second support body Ti temperature
23 erste Ausnehmung T2 Temperatur T3 Temperatur23 first recess T 2 temperature T3 temperature
T4 TemperaturT 4 temperature
Xi AbstandXi distance
X2 AbstandX2 distance
X3 Abstand X3 distance

Claims

ANSPRÜCHE
1. Vorrichtung zum Bestimmen des Massenflusses eines in einem Trägergas (1) transportierten Dampfs (2) eines festen oder flüssigen Ausgangsstoffes (3), mit einem ersten Massenflussmesser/ -regier (5), der einen erstenAnspruch [en] A device for determining the mass flow of a vapor (2) of a solid or liquid starting material (3) transported in a carrier gas (1), comprising a first mass flow meter / regulator (5) having a first mass flow meter
Messwert (Mi) liefert, der dem Massenfluss eines eingespeisten Trägergases entspricht, einem mit dem ersten Massenflussmesser/ -regier (5) in Strömungsrichtung des Trägergases verbundenen Strömungskanal (6, 6', 6"), mit einer Dampfeinspeisung (7), einem in Strömungsrichtung mit dem Strömungskanal (6, 6', 6") verbundenen zweiten MassenflussmesserMeasured value (Mi), which corresponds to the mass flow of a carrier gas fed in, to a flow channel (6, 6 ', 6 ") connected to the first mass flow meter / regulator (5) in the flow direction of the carrier gas, with a steam feed (7), an in Flow direction with the flow channel (6, 6 ', 6 ") connected second mass flow meter
(8), der einen zweiten Messwert (M2) liefert, der dem Massenfluss eines Trägergasdampfgemisches (10) entspricht, sowie mit einer elektronischen Auswerteeinrichtung (11) zur Bildung eines dem Massenfluss des Dampfes entsprechenden Ausgangs wertes (A) durch In-Beziehung-setzen des ersten Messwertes (Mi) mit dem zweiten Messwert (M2), wobei der zweite Massenflussmesser (8) beheizte Filamente (12, 13, 14) aufweist, die in Strömungsrichtung hintereinander liegen und von einer Steuereinrichtung (16, 17, 18) jeweils mittels eines elektrischen Stroms auf voneinander verschiedene Temperaturen (Ti, T2, T3) beheizt werden, dadurch gekenn- zeichnet, dass die Steuereinrichtung (16, 17, 18) so eingerichtet ist, dass die(8), which supplies a second measured value (M 2 ), which corresponds to the mass flow of a carrier gas vapor mixture (10), and with an electronic evaluation device (11) for forming an output value corresponding to the mass flow of the vapor (A) by in-relationship setting the first measured value (Mi) with the second measured value (M 2 ), wherein the second mass flow meter (8) has heated filaments (12, 13, 14) which lie one behind the other in the flow direction and are controlled by a control device (16, 17, 18) in each case by means of an electric current to different temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) are heated, characterized in that the control device (16, 17, 18) is arranged so that the
Temperatur (Ti, T2, T3) jedes Filaments (12, 13, 14) durch Wahl einer in das jeweilige Filament (12, 13, 14) eingespeisten elektrischen Leistung (Pi, P2, P3) auf einem vorgegeben Wert gehalten wird und der Ausgangs wert (A) aus dem Wert der jeweils in die Filamente (12, 13, 14) eingespeisten Leis- tungen (Pi, P2, P3) ermittelt wird. Temperature (Ti, T 2 , T 3 ) of each filament (12, 13, 14) by selecting a fed into the respective filament (12, 13, 14) electrical power (Pi, P 2 , P 3 ) maintained at a predetermined value is and the output value (A) from the value of each fed into the filaments (12, 13, 14) achievements (Pi, P 2 , P 3 ) is determined.
2. Verfahren zum Bestimmen des Massenflusses eines in einem Trägergas (1) transportierten Dampfs (2) eines festen oder flüssigen Ausgangsstoffes (3), wobei ein erster Massenf lussmesser/ -regier (5) einen ersten Messwert (Mi) lierfert, der dem ein Massenfluss (Mi) des eingespeisten Trägergases (1) entspricht, wobei in einen dem ersten Massenf lussmesser/ -regier (5) in Strömungsrichtung nachgeordneten Strömungskanal (6, 6") der Dampf eingespeist wird, wobei ein zweiter Massenflussmesser (8) einen zweiten Messwert (M2) liefert, der dem Massenfluss des Gemisches aus Trägergas (1) und Dampf (2) entspricht, wobei ein dem Massenfluss des Dampfes entsprechender Ausgangswert (A) durch In-Beziehung-setzen des ersten Messwertes (Mi) und des zweiten Messwertes (M2) gebildet wird, wobei der zweite Massenflussmesser (8) Filamente (12, 13, 14) aufweist, die in Strömungsrichtung hintereinander liegen und von einer Steuereinrichtung (16, 17, 18) mittels eines elektrischen Stroms auf voneinander verschiedene Temperaturen (Ti, T2, T3) beheizt werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur (Ti, T2, T3) jedes Filaments (12, 13, 14) durch Wahl einer in das jeweilige Filament (12, 13, 14) eingespeisten Leistung (Pi, P2, P3) auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird und der Ausgangswert (A) aus den Werten der jeweils in die Filamente (12, 13, 14) eingespeisten Leistungen (Pi, P2, P3) ermittelt wird. 2. Method for determining the mass flow of a vapor (2) of a solid or liquid starting material (3) transported in a carrier gas (1), wherein a first mass flow meter / regulator (5) produces a first measured value (Mi) corresponding to a mass flow (Mi) of the injected carrier gas (1), downstream of which the first mass flow meter / regulator (5) is downstream Flow channel (6, 6 ") of the steam is fed, wherein a second mass flow meter (8) provides a second measurement (M 2 ) corresponding to the mass flow of the mixture of carrier gas (1) and steam (2), wherein the mass flow of Vapor corresponding output value (A) by putting set the first measured value (Mi) and the second measured value (M 2 ) is formed, wherein the second mass flow meter (8) filaments (12, 13, 14), in the flow direction behind the other and by a control device (16, 17, 18) by means of an electric current to different temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) are heated, characterized in that the temperature (Ti, T 2 , T 3 ) of each filament ( 12, 13, 1 4) by selecting a power fed into the respective filament (12, 13, 14) (Pi, P 2 , P 3 ) is kept at a predetermined value and the output value (A) from the values of each in the filaments (12, 13, 14) supplied power (Pi, P 2 , P 3 ) is determined.
Vorrichtung zum Bestimmen eines Massenflusses insbesondere zur Verwendung in einer Vorrichtung gemäß Anspruch 1 oder in einem Verfahren gemäß Anspruch 2, in Form eines Massenflussmessers (8), der Filamente (12, 13, 14) aufweist, von denen zumindest zwei in Strömungsrichtung hintereinander liegen und die von einer Steuereinrichtung (16, 17, 18) jeweils mittels eines elektrischen Stroms auf voneinander verschiedene Temperaturen (Ti, T2, T3) beheizbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (16, 17, 18) so eingerichtet ist, dass die Temperatur (Ti, T2, T3) jedes Filaments (12, 13, 14) durch Wahl einer in das jeweilige Fi- lament (12, 13, 14) eingespeisten elektrischen Leistung (Pi, P2, P3) auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird und der Massenfluss aus den Werten der jeweils in die Filamente (12, 13, 14) eingespeisten Leistung (Pi, P2, P3) ermittelt wird. Apparatus for determining a mass flow, in particular for use in a device according to claim 1 or in a method according to claim 2, in the form of a mass flow meter (8) comprising filaments (12, 13, 14), at least two of which are behind one another in the flow direction and which by a control device (16, 17, 18) in each case by means of an electric current to different temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) are heated, characterized in that the control device (16, 17, 18) is arranged so that the temperature (Ti, T 2 , T 3 ) of each filament (12, 13, 14) by selecting one in the respective lament (12, 13, 14) supplied electric power (Pi, P 2, P 3) is maintained at a predetermined value and the mass flow from the values of the filaments in each case (12, 13, 14) fed power (Pi, P 2 , P 3 ) is determined.
Vorrichtung oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung für jedes Filament (12, 13, 14) eine eigene Regeleinrichtung (16, 17, 18) aufweist, mit der das Filament (12, 13, 14) auf der vorgegebenen Temperatur (Ti, T2, T3) geregelt wird. Device or method according to one of the preceding claims, characterized in that the control device for each filament (12, 13, 14) has its own control device (16, 17, 18), with which the filament (12, 13, 14) on the predetermined temperature (Ti, T 2 , T 3 ) is regulated.
Vorrichtung oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein stromaufwärtiges erstes Filament (12) auf einer ersten Temperatur (Ti) gehalten wird, die kleiner ist als eine Temperatur (T2), auf die ein zweites stromabwärts des ersten Filament (12) angeordnetes Filament (13) gehalten ist, und dass ein drittes Filament (14), das auf einer dritten Temperatur (T3) gehalten ist, die kleiner ist als die Temperatur (T2), auf der das zweite Filament (13) gehalten ist, zumindest abschnittsweise stromabwärts des zweiten Filaments (13) angeordnet ist. Apparatus or method according to any one of the preceding claims, characterized in that an upstream first filament (12) is maintained at a first temperature (Ti) which is less than a temperature (T 2 ) to which a second downstream of the first filament (T) 12), and that a third filament (14) maintained at a third temperature (T 3 ) is less than the temperature (T 2 ) at which the second filament (13) is held, at least partially downstream of the second filament (13) is arranged.
Vorrichtung oder Verfahren einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperaturen (Ti, T2, T3) auf die die Filamente (12, 13, 14) gehalten werden, geringer sind als die Zerlegungstemperatur des Dampfes (2). Device or method according to one of the preceding claims, characterized in that the temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) on which the filaments (12, 13, 14) are kept are lower than the decomposition temperature of the vapor (2).
Vorrichtung oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem ersten Massenf lussmesser/ -regier (5) ein Trägergaseinspeisekanal (4) vorgeordnet ist, zwischen Dampfeinspei- sung (7) und zweiten Massenflussmesser (8) ein weiterer Strömungskanal (6") und stromabwärts des zweiten Massenflussmessers (8) ein Austrittskanal (9) angeordnet ist, wobei die Kanäle (4, 6, 6', 6", 9) auf einer Temperatur gehalten werden, die geringer ist als die Temperaturen (Ti, T2, T3) der Filamente (12, 13, 14) aber größer ist als die Kondensationstemperatur des Dampfes (2). Device or method according to one of the preceding claims, characterized in that the first mass flow meter / regulator (5) is preceded by a carrier gas feed channel (4), between steam inlet and outlet (7) and second mass flow meter (8) a further flow channel (6 ") and downstream of the second mass flow meter (8) an outlet channel (9) is arranged, wherein the channels (4, 6, 6 ', 6", 9) be kept at a temperature which is lower than the temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) of the filaments (12, 13, 14) but greater than the condensation temperature of the vapor (2).
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Temperaturmesssensor (15) zur Bestimmung der Temperatur der Mischung aus Trägergas (1) und Dampf (2). Device according to one of the preceding claims, characterized by a temperature measuring sensor (15) for determining the temperature of the mixture of carrier gas (1) and steam (2).
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens drei, bevorzugt mindestens vier oder fünf Filamente (12', 12, 13, 14, 14') in Strömungsrichtung hintereinander angeordnet sind, wobei zwei benachbarte Filamente wärmeenergetisch aneinander gekoppelt sind. Device according to one of the preceding claims, characterized in that at least three, preferably at least four or five filaments (12 ', 12, 13, 14, 14') are arranged one behind the other in the flow direction, wherein two adjacent filaments are coupled to each other with thermal energy.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Filamente (12, 13, 14, 15) in einem gasdurchlässigen ersten Tragkörper (20) insbesondere einem ersten Schaumkörper angeordnet sind. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the filaments (12, 13, 14, 15) are arranged in a gas-permeable first support body (20), in particular a first foam body.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Tragkörper (20) in einem zweiten Tragkörper, insbesondere einem zweiten Schaumkörper (22) steckt. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the first support body (20) in a second support body, in particular a second foam body (22) inserted.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Poren des ersten Schaumkörpers (20) kleiner sind als die Poren des zweiten Schaumkörpers (22). 12. The device according to claim 10, characterized in that the pores of the first foam body (20) are smaller than the pores of the second Foam body (22).
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Schaumkörper (20) zwei voneinander wegweisende Stirnseiten (24, 25) besitzt und eine an die Stirnseiten (24, 25) angrenzende13. Device according to one of claims 10 or 11, characterized in that the first foam body (20) has two mutually pioneering end faces (24, 25) and one of the end faces (24, 25) adjacent
Umfangsfläche (26, 26'), wobei durch eine erste Stirnfläche (24) ein Gasstrom in den Schaumkörper (20) hereintritt und aus einer gegenüberliegenden zweiten Stirnfläche (25) der Gasstrom aus dem Schaumkörper (20) heraustreten kann und die Umfangsfläche (26, 26') zwischen den beiden Stirnflächen (24, 25) gasdicht versiegelt ist. Peripheral surface (26, 26 '), wherein by a first end face (24), a gas stream in the foam body (20) enters and from an opposite second end face (25) of the gas stream from the foam body (20) can emerge and the peripheral surface (26, 26 ') between the two end faces (24, 25) is sealed gas-tight.
14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Filamente (12, 13, 14, 15) die Form einer Helix aufweisen und sich frei zwischen zwei sich gegenüberliegenden Mantel- wandabschnitten der Tragkörper erstrecken und/ oder dass die Filamente14. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the filaments (12, 13, 14, 15) have the shape of a helix and extend freely between two opposite mantle wall sections of the support body and / or that the filaments
(12, 13, 14, 15) mit einem Keramikmaterial (27) ummantelt sind. (12, 13, 14, 15) are coated with a ceramic material (27).
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Schaumkörper (22) eine Ausnehmung (23) aufweist, in der die drei Filamente (12, 13, 14) einhegen. 15. Device according to one of claims 10 to 14, characterized in that the foam body (22) has a recess (23) in which the three filaments (12, 13, 14) einhegen.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Schaumkörper eine zweite Ausnehmung (31) aufweist, in der ein Temperaturmessfilament (15) angeordnet ist. 16. The device according to one of claims 10 to 15, characterized in that the foam body has a second recess (31) in which a Temperaturmessfilament (15) is arranged.
17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Filamente (12, 13, 14) derart thermisch vom Tragkörper (20) entkoppelt sind und dicht nebeneinander angeordnet sind, dass bei einem Totaldruck im Bereich von 1 bis 10 mbar der Wärmetransport vom heißeren Filament (13) zum kühleren Filament (12, 14) im Wesentlichen Wärmeleitung durch das Gas ist. 17. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the filaments (12, 13, 14) are thermally decoupled from the support body (20) and are arranged close to each other, that at a total pressure in the range of 1 to 10 mbar, the heat transfer from the hotter filament (13) to the cooler filament (12, 14) is essentially heat conduction through the gas.
Vorrichtung oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand der Filamente (12, 13, 14) und deren Temperatur (Ti, T3) so gewählt ist, dass sich die Temperaturen (Ti, T2, T3) der Filamente gegenseitig beeinflussen. Device or method according to one of the preceding claims, characterized in that the spacing of the filaments (12, 13, 14) and their temperature (Ti, T 3 ) is selected so that the temperatures (Ti, T 2 , T 3 ) the filaments influence each other.
PCT/EP2014/063096 2013-07-01 2014-06-23 Apparatus for determining the mass flow of a vapour transported in a carrier gas WO2015000727A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013106863.4A DE102013106863A1 (en) 2013-07-01 2013-07-01 Device for determining the mass flow of a vapor transported in a carrier gas
DE102013106863.4 2013-07-01

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2015000727A1 true WO2015000727A1 (en) 2015-01-08

Family

ID=51059429

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2014/063096 WO2015000727A1 (en) 2013-07-01 2014-06-23 Apparatus for determining the mass flow of a vapour transported in a carrier gas

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE102013106863A1 (en)
TW (1) TW201510488A (en)
WO (1) WO2015000727A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014101792A1 (en) 2014-02-13 2015-08-13 Aixtron Se Device for determining the mass flow of a gas or gas mixture with nested tubular filament arrangements

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3680377A (en) 1970-08-17 1972-08-01 Hewlett Packard Co Fluid flow meter
US4344322A (en) * 1979-07-20 1982-08-17 Robert Bosch Gmbh Device for air flow rate measurement in the air intake tube of an internal combustion engine
US4587842A (en) * 1982-12-30 1986-05-13 Robert Bosch Gmbh Arrangement for measuring the mass flow-rate of a flowing medium
US6370950B1 (en) 1998-03-20 2002-04-16 Berkin B.V. Medium flow meter
US6629456B2 (en) 2000-12-20 2003-10-07 Denso Corporation Thermal flowmeter for detecting rate and direction of fluid flow
US20040040386A1 (en) 2002-08-29 2004-03-04 Sensormedics Corporation Kelvin sensed hot-wire anemometer
US20070251315A1 (en) 2006-04-13 2007-11-01 Hitachi, Ltd. Thermal Type Flow Sensor
US8069718B2 (en) 2007-05-16 2011-12-06 Hitachi, Ltd. Thermal flowmeter
EP2057454B1 (en) 2006-08-29 2012-08-08 Global OLED Technology LLC Pirani type vacuum gauge for measuring vaporized organic or inorganic material pressure
WO2012175124A1 (en) 2011-06-22 2012-12-27 Aixtron Se Vapor deposition material source and method for making same
DE102011051263A1 (en) 2011-06-22 2012-12-27 Aixtron Se Device for generating aerosols and depositing a light-emitting layer
DE102011051931A1 (en) 2011-07-19 2013-01-24 Aixtron Se Apparatus and method for determining the vapor pressure of a starting material vaporized in a carrier gas stream

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3680377A (en) 1970-08-17 1972-08-01 Hewlett Packard Co Fluid flow meter
US4344322A (en) * 1979-07-20 1982-08-17 Robert Bosch Gmbh Device for air flow rate measurement in the air intake tube of an internal combustion engine
US4587842A (en) * 1982-12-30 1986-05-13 Robert Bosch Gmbh Arrangement for measuring the mass flow-rate of a flowing medium
US6370950B1 (en) 1998-03-20 2002-04-16 Berkin B.V. Medium flow meter
US6629456B2 (en) 2000-12-20 2003-10-07 Denso Corporation Thermal flowmeter for detecting rate and direction of fluid flow
US20040040386A1 (en) 2002-08-29 2004-03-04 Sensormedics Corporation Kelvin sensed hot-wire anemometer
US20070251315A1 (en) 2006-04-13 2007-11-01 Hitachi, Ltd. Thermal Type Flow Sensor
EP2057454B1 (en) 2006-08-29 2012-08-08 Global OLED Technology LLC Pirani type vacuum gauge for measuring vaporized organic or inorganic material pressure
US8069718B2 (en) 2007-05-16 2011-12-06 Hitachi, Ltd. Thermal flowmeter
WO2012175124A1 (en) 2011-06-22 2012-12-27 Aixtron Se Vapor deposition material source and method for making same
DE102011051263A1 (en) 2011-06-22 2012-12-27 Aixtron Se Device for generating aerosols and depositing a light-emitting layer
DE102011051931A1 (en) 2011-07-19 2013-01-24 Aixtron Se Apparatus and method for determining the vapor pressure of a starting material vaporized in a carrier gas stream

Also Published As

Publication number Publication date
DE102013106863A1 (en) 2015-01-08
TW201510488A (en) 2015-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2013010864A2 (en) Device and method for determining the vapour pressure of a starting substance vaporized in a carrier gas stream
EP3111205B1 (en) Device and method for determination of the concentration of a vapor with a oscillating body sensor
WO2012175307A1 (en) Method and device for depositing oleds
DE102016123911A1 (en) Heated transfer lines
WO2012175334A2 (en) Method and device for depositing oleds, in particular evaporation device therefor
EP1681549A2 (en) Method and device for humidifying gas and for condensing steam on condensation nuclei
EP2963147B1 (en) Device for generating a vapour from a solid or liquid starting material for a cvd or pvd device
EP2791629B1 (en) Device and method for determining the mass-flow of a fluid
DE102015104240A1 (en) By heating to be cleaned QCM sensor and its use in an OVPD coating system
WO2014090558A1 (en) Thermal flow meter
DE102017106968A1 (en) Apparatus and method for determining the concentration of a vapor
DE4422697C1 (en) Vapour coating device for prodn. of thin filmed solar cells
EP0736109A1 (en) Material of chemical compounds with a metal in group iv a of the periodic system, nitrogen and oxygen and process for producing it
DE60316056T2 (en) Nanotubes, nanothermometers and methods for their production
WO2015000727A1 (en) Apparatus for determining the mass flow of a vapour transported in a carrier gas
EP3034123B1 (en) Anesthesia agent evaporating unit
DE102008029028B3 (en) Vacuum pressure measuring device for a RTP vacuum furnace
WO2015121095A1 (en) Device for determining the mass flow of a gas or gas mixture having tube-shaped filament arrays nested in one another
DE102017123233A1 (en) Apparatus and method for generating a vapor transported in a carrier gas
DE102017106967A1 (en) Apparatus and method for determining the concentration of a vapor
DE102017123682A1 (en) Method for determining the partial pressure or a concentration of a vapor
EP2562784A2 (en) Sensor assembly for characterization of plasma coating, plasma etching and plasma treatment processes and method for determining characteristic parameters in these processes
WO2017121704A1 (en) Device for providing a process gas in a coating device
DE102009029236B4 (en) Evaporators, arrangement of evaporators and coating system
DE4319387C1 (en) Appts. for vaporising liq.

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 14734428

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 14734428

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1